郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于检测抛光夹具厚度的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223500380U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423162634.5，技术领域涉及：G01B21/08；该实用新型一种用于检测抛光夹具厚度的装置是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;周军磊;安李飞设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于检测抛光夹具厚度的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于检测抛光夹具厚度的装置，包括放置平台、量测机构和支撑机构。放置平台和量测机构上均设置有高度和水平调节装置；放置平台上用于水平放置抛光夹具，且水平放置后的抛光夹具的一侧边缘悬空；量测机构包括相对设置的上检测头和下检测头；量测机构设于水平放置后的所述抛光夹具的一侧，且上检测头、下检测头分别位于悬空的抛光夹具的上方、下方，能够检测该处抛光夹具的厚度。本申请能够对放置平台和量测机构的水平度和高度进行精准调节，可以很好的保证夹具测厚的稳定性和精准度的要求，在半导体加工制造、尤其是抛光机抛光过程中对晶圆的厚度和形貌控制具有较好的实用价值。
本实用新型一种用于检测抛光夹具厚度的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于检测抛光夹具厚度的装置，其特征在于，包括放置平台、量测机构和用于支撑所述放置平台和所述量测机构的支撑机构； 所述放置平台和所述量测机构上均设置有高度和水平调节装置，分别用于调节所述放置平台和所述量测机构的高度和水平度； 所述放置平台上用于水平放置抛光夹具，且水平放置后的所述抛光夹具的一侧边缘悬空； 所述量测机构包括相对设置的上检测头和下检测头；所述量测机构设于所述水平放置后的所述抛光夹具的一侧，且所述上检测头、所述下检测头分别位于悬空的所述抛光夹具的上方、下方，能够检测该处所述抛光夹具的厚度。
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