杭州赫瑞半导体科技有限公司胡晓文获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州赫瑞半导体科技有限公司申请的专利一种半导体设备用碳化硅陶瓷检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223500734U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422637130.8,技术领域涉及:G01N1/28;该实用新型一种半导体设备用碳化硅陶瓷检测设备是由胡晓文;王欣;鲁春茂设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备用碳化硅陶瓷检测设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于碳化硅陶瓷检测技术领域,具体涉及一种半导体设备用碳化硅陶瓷检测设备,包括:顶部依次设有储水池和称重板,所述储水池的顶部设有延伸至液面下方的盛放机构,所述盛放机构包括托环以及安装在托环底部的过滤网盒,所述托环抵接在储水池顶部的边缘位置处,所述过滤网盒中形成有储存碳化硅陶瓷的储存区域,所述测试仪本体的一侧还设有用于沥水的沥水盒,本实用新型通过加设储存在储水池中的盛放机构,盛放机构中的过滤网盒将碳化硅陶瓷浸在液体中,取出过滤网盒后,可将碳化硅陶瓷直接从液体中取出,避免人工直接接触碳化硅陶瓷,便于设备对浸在液体中的碳化硅陶瓷进行下料。
本实用新型一种半导体设备用碳化硅陶瓷检测设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体设备用碳化硅陶瓷检测设备,其特征在于,包括:顶部依次设有储水池8和称重板9的测试仪本体1,所述储水池8的顶部设有延伸至液面下方的盛放机构4,所述盛放机构4包括托环5以及安装在托环5底部的过滤网盒6,所述托环5抵接在储水池8顶部的边缘位置处,所述过滤网盒6中形成有储存碳化硅陶瓷的储存区域。
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