合肥致真精密设备有限公司程厚义获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种小型集成式离子束刻蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501803U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422852652.X，技术领域涉及：H01J37/305；该实用新型一种小型集成式离子束刻蚀机是由程厚义;芮海林;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种小型集成式离子束刻蚀机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种小型集成式离子束刻蚀机，具体涉及晶圆刻蚀技术领域，包括工作台、L型集成式机柜、工艺刻蚀室；工艺刻蚀室固定安装在工作台的上表面，工作台的底部固定安装在L型集成式机柜的顶部；气路系统安装在L型集成式机柜的内部；抽气系统安装在工艺刻蚀室上；工艺刻蚀室包括：真空腔体、样品台组件和翻盖组件；翻盖组件安装在真空腔体的上端，翻盖组件与真空腔体之间通过双胶圈密封连接，样品台组件固定安装在翻盖组件的中心处。本实用新型通过设置翻盖组件和真空腔体，便于获得更高真空度，气压最低值最低可达8*10‑8mbar；利用PLC控制面板和离子源电源集成于L型集成式机柜的内部，有效减小了整体设备的占地面积。
本实用新型一种小型集成式离子束刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种小型集成式离子束刻蚀机，所述刻蚀机包括：工作台1、L型集成式机柜2、工艺刻蚀室3、抽气系统和气路系统； 其特征在于：所述工艺刻蚀室3固定安装在工作台1的上表面，所述工作台1的底部固定安装在L型集成式机柜2的顶部；所述气路系统安装在L型集成式机柜2的内部；所述抽气系统安装在工艺刻蚀室3上； 所述工艺刻蚀室3包括：真空腔体31、样品台组件32和翻盖组件33； 所述翻盖组件33安装在真空腔体31的上端，且所述翻盖组件33与真空腔体31之间通过双胶圈密封连接，所述样品台组件32固定安装在翻盖组件33的中心处。
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