深圳市新凯来工业机器有限公司马继源获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利等离子室、腔体模组及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501805U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422735647.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型等离子室、腔体模组及半导体设备是由马继源;王苏;杨晓坤设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子室、腔体模组及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种等离子室、腔体模组及半导体设备，涉及半导体设备领域。第一分件包括第一接合面及凸设于第一接合面的第一凸起，第一接合面设于第一分件朝向第二分件的一侧，第一接合面环绕中空腔设置。第二分件包括第二接合面与凹设于第二接合面的第一凹陷，第二接合面设于第二分件朝向第一分件的一侧，第二接合面环绕中空腔设置，第一接合面与第二接合面相对设置并密封连接在一起，第一凸起收容于第一凹陷内，第一凸起的外壁与第一凹陷的内壁相贴合以增加第一分件与第二分件之间的接合面积，有利于增加等离子室的气体泄漏路径，提高等离子室的气密性。
本实用新型等离子室、腔体模组及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子室，其特征在于，所述等离子室包括层叠设置的第一分件与第二分件，所述第一分件与所述第二分件围合成中空腔，所述中空腔用于进行等离子反应； 所述第一分件包括第一接合面及凸设于所述第一接合面的第一凸起，所述第一接合面设于所述第一分件朝向第二分件的一侧，所述第一接合面环绕所述中空腔设置； 所述第二分件包括第二接合面与凹设于所述第二接合面的第一凹陷，所述第二接合面设于所述第二分件朝向所述第一分件的一侧，所述第二接合面环绕所述中空腔设置，所述第一接合面与所述第二接合面相对设置并密封连接在一起，所述第一凸起收容于所述第一凹陷内，所述第一凸起的外壁与所述第一凹陷的内壁相贴合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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