北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司徐文灯获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利检测装置和夹盘组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501813U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422909073.4，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型检测装置和夹盘组件是由徐文灯;杜亮;张炯设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测装置和夹盘组件在说明书摘要公布了：本申请提供一种检测装置，所述夹盘包括顶板，所述顶板的一侧用于放置所述晶圆，以及多个夹持组件，所述夹持组件贯穿所述顶板，所述夹持组件被配置为通过运动实现对晶圆的夹持和松开；所述检测装置包括：至少一个检测单元，位于所述顶板远离所述晶圆的一侧，所述检测单元包括：挡光部，所述挡光部与所述夹持组件连接，与所述夹持组件同步移动；以及光源和光信号接收器，分别设置在所述挡光部的两侧，所述光源用于向所述光信号接收器发射光信号，所述光信号接收器用于接收所述光源发出的光信号并发出光强信号。本申请还提供一种夹盘组件。本申请提供的检测装置和夹盘组件在检测晶圆放置状态的同时还避免了检测光照射至晶圆。
本实用新型检测装置和夹盘组件在权利要求书中公布了：1.一种检测装置，用于检测晶圆在夹盘上的放置状态，所述夹盘包括顶板，所述顶板的一侧用于放置所述晶圆，以及多个夹持组件，所述夹持组件贯穿所述顶板，所述夹持组件被配置为通过运动实现对晶圆的夹持和松开； 其特征在于，所述检测装置包括： 至少一个检测单元，位于所述顶板远离所述晶圆的一侧，所述检测单元包括：挡光部，所述挡光部与所述夹持组件连接，与所述夹持组件同步移动；以及光源和光信号接收器，分别设置在所述挡光部的两侧，所述光源用于向所述光信号接收器发射光信号，所述光信号接收器用于接收所述光源发出的光信号并发出光强信号； 其中，所述挡光部移动使所述光信号接收器接收的信号发生变化。
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