无锡华瑛微电子技术有限公司张丹获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡华瑛微电子技术有限公司申请的专利一种半导体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501825U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422937273.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体处理装置是由张丹设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体处理装置，所述半导体处理装置包括原液储瓶、喷淋装置和蒸发装置，所述原液储瓶中密封保存氢氟酸的原液，所述喷淋装置将所述原液储瓶中的氢氟酸原液运送到所述蒸发装置的顶部向下喷淋，所述蒸发装置内部的中下部填充有固体填料，所述蒸发装置的外壁上设置有电加热套，所述电加热套加热所述蒸发装置的内腔和固体填料，氢氟酸原液在从所述蒸发装置的内腔顶部下落至内腔底部之前完全蒸发为氟化氢气体和水蒸气。本实用新型使用氟化氢水溶液直接得到氟化氢气体，摆脱纯氟化氢剧毒气体储存和传输的成本和风险，且相比其他方法具有稳定控制氟化氢气体浓度、流速和含水量以及减少化学液消耗量等优点。
本实用新型一种半导体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理装置，其特征在于，包括原液储瓶、喷淋装置和蒸发装置， 所述原液储瓶中密封保存氢氟酸的原液， 所述喷淋装置连接所述原液储瓶和所述蒸发装置，所述喷淋装置将所述原液储瓶中的氢氟酸原液运送到所述蒸发装置的顶部向下喷淋，氢氟酸原液的喷淋范围延伸到所述蒸发装置的内腔侧壁， 所述蒸发装置内部的中下部填充有固体填料，所述蒸发装置的外壁上设置有电加热套，所述电加热套加热所述蒸发装置的内腔和固体填料，氢氟酸原液在从所述蒸发装置的内腔顶部下落至内腔底部之前完全蒸发为氟化氢气体和水蒸气。
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