郑州琦升精密制造有限公司李矿伟获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州琦升精密制造有限公司申请的专利一种全自动晶圆切片清洗一体机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501826U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422945706.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种全自动晶圆切片清洗一体机是由李矿伟;马运刚;孙耀威;付明豪设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动晶圆切片清洗一体机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种全自动晶圆切片清洗一体机，本实用新型有效解决了现有的清洗设备往往与烘干设备之间存在较远的距离，需要进行人力转运，然而较长距离的转运过程中需要耗费大量的人力和时间，而且在转移过程中容易引入杂质颗粒，导致晶圆表面污染的问题。该全自动晶圆切片清洗一体机，通过限位杆和垫板的配合设置，能够对需要清洗的晶圆切片进行分隔放置，进而更有利于将清洗溶液充分的与晶圆切片相互接触，提升清洗的效果，通过驱动盘和托盘的配合设置，能够在电机的转动下，对所安装的晶圆切片进行转动，以保证晶圆切片在清洗溶液中转动，保证晶圆切片与清洗溶液充分接触，进一步提升清洗效果。
本实用新型一种全自动晶圆切片清洗一体机在权利要求书中公布了：1.一种全自动晶圆切片清洗一体机，包括安装座1，其特征在于：所述安装座1顶部的一侧固定安装有电机2，所述电机2的输出端通过键传动连接有驱动盘3，所述安装座1的顶部通过螺栓连接有防护壳8，所述防护壳8顶部的一侧开设有安装槽11，所述安装槽11的内侧壁可转动连接有托盘12，所述托盘12的顶部螺纹连接有限位杆13，所述限位杆13的外壁可拆卸连接有垫板14，所述防护壳8顶部位于安装槽11的一侧可拆卸连接有限位座20，所述限位座20的内侧壁开设有插槽21，所述安装槽11内侧壁位于托盘12的一侧固定安装有引流筒26，所述引流筒26的外表面开设有多个喷射孔29。
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