北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司梁小华获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利匀气装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501827U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422962512.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型匀气装置及半导体设备是由梁小华;郝葆华;赵雅婧设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本匀气装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种匀气装置及半导体设备，匀气装置包括：进气通道；第一环形通道，第一环形通道与所述进气通道连通，其中，第一环形通道的径向尺寸根据第一环形通道和进气通道之间的距离确定；第二环形通道，第二环形通道位于第一环形通道围绕的区域内，且第二环形通道和第一环形通道所在平面平行；连接通道，连接通道的第一端与所述第一环形通道连通，连接通道的第二端与所述第二环形通道连通，其中，连接通道的数量为多个，多个连接通道沿第二环形通道的周向分布；出气口，出气口与第二环形通道连通，且出气口朝向所述第二环形通道围绕的区域。采用上述技术方案，能够提高反应腔室内的气体分布均匀性。
本实用新型匀气装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种匀气装置，其特征在于，包括： 进气通道； 第一环形通道，所述第一环形通道与所述进气通道连通，其中，所述第一环形通道的径向尺寸根据所述第一环形通道和所述进气通道之间的距离确定； 第二环形通道，所述第二环形通道位于所述第一环形通道围绕的区域内，且所述第二环形通道和所述第一环形通道所在平面平行； 连接通道，所述连接通道的第一端与所述第一环形通道连通，所述连接通道的第二端与所述第二环形通道连通，其中，所述连接通道的数量为多个，多个连接通道沿所述第二环形通道的周向分布； 出气口，所述出气口与所述第二环形通道连通，且所述出气口朝向所述第二环形通道围绕的区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：102600 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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