郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于改善硅片多晶硅沉积过程边缘污染及损伤的手臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501838U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422889249.4，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种用于改善硅片多晶硅沉积过程边缘污染及损伤的手臂是由吴泓明;钟佑生;张理想;黄郁璿;孙楠;冉彦芝设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于改善硅片多晶硅沉积过程边缘污染及损伤的手臂在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于改善硅片多晶硅沉积过程边缘污染及损伤的手臂，包括V型手臂本体，所述V型手臂本体头部设有至少1个第一硅片承载平台，尾部的两个尖端上各设有至少1个第二硅片承载平台；所述第一硅片承载平台和所述第二硅片承载平台的上表面为倾斜面，高度由外至内逐渐降低；所述第二硅片承载平台的上表面边缘设有突出的限位块；所述第一硅片承载平台和所述第二硅片承载平台的上表面为粗糙化处理面。本申请通过优化硅片传送手臂的结构，有效改善了300mm重掺硅片在多晶硅沉积过程中，手臂对硅片正面造成的污染及刮伤。
本实用新型一种用于改善硅片多晶硅沉积过程边缘污染及损伤的手臂在权利要求书中公布了：1.一种用于改善硅片多晶硅沉积过程边缘污染及损伤的手臂，包括V型手臂本体，所述V型手臂本体头部设有至少1个第一硅片承载平台，尾部的两个尖端上各设有至少1个第二硅片承载平台；其特征在于， 所述第一硅片承载平台和所述第二硅片承载平台的上表面为倾斜面，高度由外至内逐渐降低； 所述第二硅片承载平台的上表面边缘设有突出的限位块； 所述第一硅片承载平台和所述第二硅片承载平台的上表面为粗糙化处理面。
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