上海稷以科技有限公司彭帆获国家专利权
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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利一种用于半导体腔体内调试传送位置的校准辅助装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501845U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423011052.7，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种用于半导体腔体内调试传送位置的校准辅助装置是由彭帆设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体腔体内调试传送位置的校准辅助装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体腔体内调试传送位置的校准辅助装置，包括载台，所述载台底部设有与静电吸盘精准对位的缺口平边，所述载台的中心位置上设有中心校准模块。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型能够快速地进行晶圆传送位置的校准，精准定位，减少了工程师的调试时间，也减少了劳动力，提高了工作效率，从而满足设计的时效性要求。
本实用新型一种用于半导体腔体内调试传送位置的校准辅助装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体腔体内调试传送位置的校准辅助装置，包括载台，其特征在于：所述载台底部设有与静电吸盘精准对位的缺口平边，所述载台的中心位置上设有中心校准模块。
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