深圳市路远智能装备有限公司李志武获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市路远智能装备有限公司申请的专利一种Ring环托盘治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501848U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422856133.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种Ring环托盘治具是由李志武;袁虎;胡泉设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Ring环托盘治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种Ring环托盘治具，包括支撑板、安装板、设置于支撑板上的导向组件、设置于支撑板上的升降驱动件、用于固定Ring环的托盘组件，所述托盘组件可拆卸连接于所述安装板上，所述导向组件用于导向所述安装板沿竖直方向移动，所述升降驱动件用于带动所述安装板升降，所述托盘组件包括底板、连接柱和真空顶板，所述真空顶板通过连接柱连接于底板上，所述底板通过连接件与所述安装板可拆卸连接。本实用新型的Ring环托盘治具，便于在半导体生产过程中安装固定Ring环，提高生产质量和效率。
本实用新型一种Ring环托盘治具在权利要求书中公布了：1.一种Ring环托盘治具，其特征在于：包括支撑板、安装板、设置于支撑板上的导向组件、设置于支撑板上的升降驱动件、用于固定Ring环的托盘组件，所述托盘组件可拆卸连接于所述安装板上，所述导向组件用于导向所述安装板沿竖直方向移动，所述升降驱动件用于带动所述安装板升降，所述托盘组件包括底板、连接柱和真空顶板，所述真空顶板通过连接柱连接于底板上，所述底板通过连接件与所述安装板可拆卸连接。
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