上海交震半导体科技有限公司江秦波获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交震半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆抓取的伯努利吸盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223501849U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422889026.8,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶圆抓取的伯努利吸盘是由江秦波;沈正骏;喻志鹏;陆佳铭设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抓取的伯努利吸盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆抓取的伯努利吸盘,包括固定座,所述固定座的外侧固定连接有多个呈均匀分布的安装座,所述固定座的下端接触有多个吸盘本体,所述固定座的内部开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有多个滑块,所述滑块的外侧固定连接有滑座,所述滑座与固定座滑动连接。本实用新型通过设计多个吸盘本体的作用,在圆晶抓取过程中可同时进行多个圆晶的抓取工作,抓取效率更高,通过滚珠与凹槽的插接,可将滑座与固定座相对位置固定,在水平方向推动吸盘本体移动时可实现滚珠与不同位置处凹槽的插接配合,进而可将吸盘本体与固定座相对位置调节固定,方便灵活调整吸盘本体使用位置。
本实用新型一种晶圆抓取的伯努利吸盘在权利要求书中公布了:1.一种晶圆抓取的伯努利吸盘,包括固定座1,其特征在于:所述固定座1的外侧固定连接有多个呈均匀分布的安装座2,所述固定座1的下端接触有多个吸盘本体3,所述固定座1的内部开设有滑槽4,所述滑槽4的内部滑动连接有多个滑块5,所述滑块5的外侧固定连接有滑座6,所述滑座6与固定座1滑动连接,所述固定座1的顶部固定连接有铰接座7,所述铰接座7的内部铰接有铰接杆10,所述铰接杆10的外侧固定连接有堵块11,所述堵块11与固定座1接触,所述滑座6上设置有调节机构8,所述堵块11上设置有封堵机构9。
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