厦门特仪科技有限公司范智昆获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门特仪科技有限公司申请的专利一种晶圆固定工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422938700.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆固定工装是由范智昆;连真;王世锐设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆固定工装在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆固定工装，包括：工件吸盘，下表面设置有相应的吸附孔，所述吸附孔连接到外部抽真空泵，所述工件吸盘的上表面通过相应的衔接套筒连接到相应的旋转马达的输出轴上，所述衔接套筒的两侧分别设置有相应的连通孔；防掉片机构，包含一组贯穿所述连通孔、并延伸至所述工件吸盘外侧的夹紧驱动板，所述夹紧驱动板分别向下固接有防掉片夹紧板；驱动装置，包含用于驱动一组所述夹紧驱动板进行相对、或相背移动的水平驱动机构，以及用于驱动所述水平驱动机构进行升降的升降驱动机构。本实用新型能够在不对工件形成干涉的前提下实现防掉片机构的设置，从而有效确保对晶圆工件的面朝下吸附固定的稳固性。
本实用新型一种晶圆固定工装在权利要求书中公布了：1.一种晶圆固定工装，其特征在于，包括： 工件吸盘1，所述工件吸盘1的下表面设置有相应的吸附孔101，所述吸附孔101通过相应的抽真空接头2连接到外部抽真空泵，所述工件吸盘1的上表面通过相应的衔接套筒3连接到相应的旋转马达4的输出轴上，所述衔接套筒3的两侧分别设置有相应的连通孔301； 防掉片机构5，包含一组贯穿所述连通孔301、并延伸至所述工件吸盘1外侧的夹紧驱动板501，所述夹紧驱动板501分别向下固接有位于所述工件吸盘1底侧的防掉片夹紧板502； 驱动装置，包含用于驱动一组所述夹紧驱动板501进行相对、或相背移动的水平驱动机构6，以及用于驱动所述水平驱动机构6进行升降的升降驱动机构7。
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