买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏维普光电科技有限公司申请的专利晶圆承载工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501851U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423051249.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆承载工装是由张端彬;刘军;刘岩设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆承载工装在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆承载工装，包括固定座、调节座、真空吸附部件、托料部件、升降驱动机构、弹性连接机构和多个调节螺钉；其中，所述真空吸附部件连接在所述调节座上并用于吸附固定住放置在所述真空吸附部件上的晶圆，所述托料部件沿上下方向滑动连接在所述调节座上并在滑动过程中具有升起位置和降下位置，所述升降驱动机构连接在所述调节座上并与所述托料部件相连，所述升降驱动机构用于驱动所述托料部件向上滑动至升起位置以使所述托料部件将所述真空吸附部件上的晶圆托起。本实用新型能够承载晶圆并将晶圆调节至水平状态，能够满足晶圆检测时水平调节的需求，进而能够使晶圆与光学检测镜头垂直。

本实用新型晶圆承载工装在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载工装，其特征在于，包括固定座1、调节座2、真空吸附部件3、托料部件4、升降驱动机构5、弹性连接机构和多个调节螺钉6； 所述真空吸附部件3连接在所述调节座2上并用于吸附固定住放置在所述真空吸附部件3上的晶圆； 所述托料部件4沿上下方向滑动连接在所述调节座2上并在滑动过程中具有升起位置和降下位置； 所述升降驱动机构5连接在所述调节座2上并与所述托料部件4相连，所述升降驱动机构5用于驱动所述托料部件4向上滑动至升起位置以使所述托料部件4将所述真空吸附部件3上的晶圆托起，所述升降驱动机构5还用于驱动所述托料部件4向下滑动至降下位置以使所述托料部件4上的晶圆落在所述真空吸附部件3上； 所述调节座2通过所述弹性连接机构与所述固定座1弹性压紧相连； 所述调节螺钉6螺纹连接在所述固定座1和所述调节座2中的任一个上并与所述固定座1和所述调节座2中的另一个相抵，所述调节螺钉6用于在旋拧过程中带动所述调节座2的对应端部相对所述固定座1升高或降低进而调节所述调节座2的水平状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏维普光电科技有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市新北区华山路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。