无锡亘芯悦科技有限公司陈艳威获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利旋转升降装置、传输系统及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223501853U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423015932.1,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型旋转升降装置、传输系统及半导体设备是由陈艳威;黄俊芃设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转升降装置、传输系统及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种旋转升降装置、传输系统及半导体设备,属于机械传动技术领域。该旋转升降装置包括旋转机构、升降机构和连接件,旋转机构包括第一驱动机构、轴、第二法兰和支撑件,轴的两端分别与第一驱动机构和第二法兰连接,支撑件位于第二法兰背离轴的一侧,并与第二法兰连接,第一驱动机构驱动轴、第二法兰和支撑件转动;升降机构包括第二驱动机构和滑动结构,第二驱动机构与滑动结构连接,并驱动滑动机构作往复运动;连接件分别与第一驱动机构和滑动结构连接,使旋转机构与升降机构连接。旋转机构和升降机构通过连接件集成在一起,使旋转升降装置结构更加紧凑,减少了晶圆传输过程中的中间环节,提高了传输效率。
本实用新型旋转升降装置、传输系统及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种旋转升降装置,其特征在于,包括: 旋转机构1,所述旋转机构1包括第一驱动机构11、轴15、第二法兰18和支撑件19,所述轴15的两端分别与所述第一驱动机构11和第二法兰18连接,所述支撑件19位于所述第二法兰18背离所述轴15的一侧,并与所述第二法兰18连接,所述第一驱动机构11驱动所述轴15、所述第二法兰18和所述支撑件19转动; 升降机构2,所述升降机构2包括第二驱动机构21和滑动结构22,所述第二驱动机构21与所述滑动结构22驱动连接; 连接件3,所述连接件3分别与所述第一驱动机构11和所述滑动结构22连接,使所述旋转机构1与所述升降机构2连接。
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