东京毅力科创株式会社东岛治郎获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理装置的清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114256103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111390584.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置和基板处理装置的清洗方法是由东岛治郎;绪方信博;桥本佑介设计研发完成，并于2017-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和基板处理装置的清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够将附着到杯状件的周壁部的异物去除的基板处理装置和基板处理装置的清洗方法。实施方式的一技术方案的基板处理装置包括保持部、处理液供给部、第1杯状件、第2杯状件以及清洗液供给部。保持部用于保持基板。处理液供给部用于向基板供给第1处理液和第2处理液。第1杯状件具有周壁部，用于将第1处理液回收于由周壁部形成的回收部中。第2杯状件与第1杯状件相邻地配置，用于对第2处理液进行回收。清洗液供给部用于将清洗液向第1杯状件的回收部供给。在基板处理装置中，通过使由清洗液供给部供给来的清洗液从周壁部向第2杯状件侧溢流，来对周壁部进行清洗。
本发明授权基板处理装置和基板处理装置的清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置包括： 保持部，其用于保持基板； 处理液供给部，其用于向所述基板供给第1处理液和第2处理液； 第1杯状件，其具有周壁部，用于将第1处理液回收于由所述周壁部形成的回收部中； 第2杯状件，其与所述第1杯状件相邻地配置，用于回收第2处理液； 清洗液供给部，其用于经由排液口向所述第1杯状件的所述回收部供给清洗液，所述排液口形成于所述第1杯状件的所述回收部的底部； 排液管，其与所述回收部连接，用于将回收到所述回收部中的第1处理液排出； 阀，其用于对所述排液管中的第1处理液的排出进行控制， 通过使由所述清洗液供给部供给来的清洗液从所述周壁部向所述第2杯状件侧溢流，来对所述周壁部进行清洗， 所述清洗液供给部与所述排液管的比所述阀靠流动方向上的上游侧的位置连接，在所述阀闭阀着时，从所述排液管向所述第1杯状件的所述回收部供给清洗液。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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