买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海财盈半导体股份有限公司申请的专利一种远程等离子源解离腔体组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115002997B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210742222.5，技术领域涉及：H05H1/10；该发明授权一种远程等离子源解离腔体组件是由张德才;洪靖为设计研发完成，并于2022-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种远程等离子源解离腔体组件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种远程等离子源解离腔体组件，涉及等离子源解离腔体技术领域。本发明中心包裹有圆环形管状的腔室，腔体组件包括金属外壳、磁罐结构、固定卡扣结构；金属外壳采用由若干弧形壳体拼接而成的圆环形，相邻两弧形壳体之间形成的夹缝之间安装有绝缘阻隔板；磁罐结构包括加持板、刮板、中心限位套；固定卡扣结构包括梯形板、上连接刮边、下连接刮边。本发明解决了远程等离子源腔体因矩形拐角弧度过小的不足及缺陷，减少了因磁场分布不均造成的运动螺旋等离子体源对腔体的冲击破坏；作为散热结构的金属外壳结构精巧，散热效率高，采用固定卡扣结构进行固定，便于拆卸及组装，节省了人工及时间成本。

本发明授权一种远程等离子源解离腔体组件在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子源解离腔体组件，中心包裹有圆环形管状的腔室1，所述腔室1两端分别设置有进气口101及出气口102，其特征在于： 所述腔体组件包括呈两瓣相贴合的形式包裹于腔室1外周侧部的金属外壳3、呈两瓣相贴合的形式包裹于贴合后金属外壳3整体外部的两个对称布置的磁罐结构2、安装于磁罐结构2外部用于固定金属外壳3以及磁罐结构2使与腔室1形成一体的若干固定卡扣结构4； 所述金属外壳3采用由若干弧形壳体拼接而成的圆环形，相邻两弧形壳体之间形成的夹缝304之间安装有绝缘阻隔板5；金属外壳3一侧部设置有与腔室1外周侧呈半容纳配合的容纳槽303，所述容纳槽303的两端开设有分别与进气口101、出气口102成半容纳配合的夹持限位缺口301； 所述磁罐结构2包括加持板201、环绕设置于加持板201一侧用于对金属外壳3进行包裹的刮板202、设置于加持板201中心位置用于配合刮板202一起对金属外壳3进行包裹的中心限位套204；所述加持板201的另一侧开设有与固定卡扣结构4相配合的限位槽205，所述刮板202位于相邻两限位槽205之间开设有缺口槽203； 所述固定卡扣结构4包括梯形板401、设置于梯形板401上底边的上连接刮边402、设置于梯形板401下底边的下连接刮边404；相贴合后的两磁罐结构2表面上两相对位置的限位槽205上分别安装有一个固定卡扣结构4，并通过连接螺栓分别穿过上连接刮边402、下连接刮边404上的连接孔403后进行固定，实现卡扣相连； 所述金属外壳3上相对设置的两夹持限位缺口301与刮板202上一对相对设置的缺口槽203相对应，使进气口101、出气口102穿过露出； 一所述金属外壳3的外表面设置有与中心孔302同轴心设置的圆环形凹槽305，所述圆环形凹槽305内安装有同轴心设置的高压点火线圈6以及高频磁场线圈7；所述高压点火线圈6上设置有两根点火端子；所述高频磁场线圈7上设置有两个磁场线圈输出端子；所述点火端子及磁场线圈输出端子分别经金属外壳3表面的引渡凹槽外露； 所述绝缘阻隔板5采用两个拼接式板体构成，所述绝缘阻隔板5整体中心位置开设有圆形通孔501，两侧位于每个拼接式板体上对称开设有供高压点火线圈6、高频磁场线圈7环绕穿过的矩形开口502。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海财盈半导体股份有限公司，其通讯地址为：201100 上海市闵行区东川路555号戊楼5117室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。