中国科学院半导体研究所肖峰获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利前置放大的光探测器及其制备方法、光电探测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115326116B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110514164.6，技术领域涉及：G01D5/34；该发明授权前置放大的光探测器及其制备方法、光电探测装置是由肖峰;韩勤;叶焓;王帅;陆子晴;肖帆设计研发完成，并于2021-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本前置放大的光探测器及其制备方法、光电探测装置在说明书摘要公布了：一种前置放大的光探测器及其制备方法、光电探测装置，其中前置放大的光探测器包括：衬底，包括依次邻接的放大区域、无源区域和探测区域；光放大模块，设置于衬底上的放大区域，用于增强光信号的功率，并包括第一芯层；无源波导，设置于衬底上的无源区域和探测区域，并包括第二芯层；功率增强后的光信号自第一芯层耦合至无源波导的第二芯层；以及波导探测器，设置于探测区域的无源波导上；所述光信号以倏逝波耦合方式自所述第二芯层进入波导探测器；其中，第一芯层的侧面与第二芯层侧面连接。本发明使用单片集成技术，将器件集成在衬底上，提高了光探测器的灵敏性；且各器件间的端面接触实现光信号传输，避免使用光纤传输而造成光信号的耦合损耗。
本发明授权前置放大的光探测器及其制备方法、光电探测装置在权利要求书中公布了：1.一种前置放大的光探测器，其特征在于，包括： 衬底100，包括依次邻接的放大区域、无源区域和探测区域； 光放大模块200，设置于所述衬底100上的放大区域，用于增强光信号的功率，并包括第一芯层22； 无源波导300，设置于所述衬底100上的无源区域和探测区域，并包括第二芯层32；功率增强后的光信号自所述第一芯层22耦合至所述无源波导300的第二芯层32；以及 波导探测器400，设置于所述探测区域的无源波导300上；所述光信号以倏逝波耦合方式自所述第二芯层32进入所述波导探测器400，并经所述波导探测器400转化为电信号； 其中，所述第一芯层22的侧面与所述第二芯层32侧面连接，用以提高光信号的耦合效率。
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