ASML荷兰有限公司E·库利拉吉斯获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利在半导体制造过程中用于确定对于一组衬底的检查策略的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115398345B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180026334.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权在半导体制造过程中用于确定对于一组衬底的检查策略的方法是由E·库利拉吉斯;C·兰希亚;J·M·冈萨雷斯韦斯卡;A·伊普玛;D·格科鲁;R·沙雷伊恩设计研发完成，并于2021-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本在半导体制造过程中用于确定对于一组衬底的检查策略的方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于确定针对至少一个衬底的检查策略的方法，所述方法包括：使用预测模型，基于与所述衬底相关联的预处理数据以及与所述至少一个衬底相关联的任何可用的后处理数据中的一者或两者来量化与顺应品质要求的预测相关的顺应性指标的顺应性指标值；和基于以下各项来决定对于所述至少一个衬底的检查策略：所述顺应性指标值、与所述检查策略相关联的预期成本、以及描述在与所述预测模型相关的至少一个目标权利要求所述检查策略的预期值的至少一个目标值。
本发明授权在半导体制造过程中用于确定对于一组衬底的检查策略的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于确定针对至少一个衬底的检查策略的方法，所述方法包括： 使用预测模型，基于与所述衬底相关联的预处理数据以及与所述至少一个衬底相关联的任何可用的后处理数据中的一者或两者来量化与顺应品质要求的预测相关的顺应性指标的顺应性指标值；和 基于所述顺应性指标值、与所述检查策略相关联的预期成本、以及在与所述预测模型相关的至少一个目标方面描述所述检查策略的预期值的至少一个目标值，决定针对所述至少一个衬底的检查策略。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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