上海微电子装备(集团)股份有限公司杨建新获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利照明均匀性补偿装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115729047B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111005473.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权照明均匀性补偿装置和方法是由杨建新;葛黎黎设计研发完成，并于2021-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本照明均匀性补偿装置和方法在说明书摘要公布了：本发明属于光刻设备技术领域，公开了一种照明均匀性补偿装置和方法，其中照明均匀性补偿装置包括：沿照明视场的光轴方向依次设置的多个补偿版，且各所述补偿版沿所述照明视场的长度方向延伸并沿所述延伸方向设有多个相互间隔且高度不相同的补偿台阶，各所述补偿版上的所述补偿台阶沿所述照明视场的长度方向进出所述照明视场以遮挡部分照明光。补偿台阶进入照明视场中作为补偿区域能够遮蔽部分照明光，不同高度的补偿台阶能够实现补偿不同的照度，多个补偿版沿照明视场的长度方向延伸并移动，使得不同高度的补偿台阶移动至目标区域后，实现均匀性补偿，该装置提升了装调效率，降低控制难度。
本发明授权照明均匀性补偿装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种照明均匀性补偿装置，其特征在于，包括：沿照明视场的光轴方向依次设置的多个补偿版100，且各所述补偿版100沿所述照明视场的长度方向延伸并沿所述延伸方向设有多个相互间隔且高度不相同的补偿台阶1，其中： 各所述补偿版100上的所述补偿台阶1沿所述照明视场的长度方向进出所述照明视场以遮挡部分照明光。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励