东京毅力科创株式会社大塚庆崇获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利接合装置、接合系统、接合方法、计算机程序产品以及计算机存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115985812B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211605831.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权接合装置、接合系统、接合方法、计算机程序产品以及计算机存储介质是由大塚庆崇;中满孝志;大森阳介;菅川贤治设计研发完成，并于2017-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本接合装置、接合系统、接合方法、计算机程序产品以及计算机存储介质在说明书摘要公布了：提供一种接合装置、系统、方法、程序以及计算机存储介质。检查基板的接合处理的状态来恰当地进行该接合处理。用于将上晶圆WU与下晶圆WL进行接合的接合装置具有：上卡盘140，其进行抽真空来将上晶圆WU吸附保持在其下表面；下卡盘141，其设置在上卡盘140的下方，进行抽真空来将下晶圆WL吸附保持在其上表面；压动构件190，其设置于上卡盘140，用于按压上晶圆WU的中心部；以及多个传感器175，多个传感器175设置于上卡盘140，检测上晶圆WU的从上卡盘140的脱离。
本发明授权接合装置、接合系统、接合方法、计算机程序产品以及计算机存储介质在权利要求书中公布了：1.一种接合装置，进行将基板彼此接合的接合处理，所述接合装置具备： 第一保持部，其将第一基板吸附保持在所述第一保持部的下表面； 第二保持部，其设置于所述第一保持部的下方，将第二基板吸附保持在所述第二保持部的上表面； 压动构件，其设置于所述第一保持部，用于按压所述第一基板的中心部； 基板检测部，其检测所述第一基板与所述第二基板的接合区域；以及 控制部，其基于所述接合处理的经过时间和所述基板检测部的检测结果，以使所述接合区域均匀地扩大的方式控制第一保持部使所述第一基板脱离的定时， 所述控制部以使在所述第一基板的从中心部去向外缘的一个方向上接合区域到达的定时与在不同于所述一个方向的所述第一基板的从中心部去向外缘的其它方向上接合区域到达的定时的时间差收敛在预先设定的阈值内的方式进行控制。
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