合肥晶合集成电路股份有限公司曹齐清获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种晶圆传送盒的搬运方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313961B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310306306.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆传送盒的搬运方法、系统、设备及介质是由曹齐清;严倩倩;汪杰;徐东东;蔡栋煌;张志根;刘书宏设计研发完成，并于2023-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传送盒的搬运方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆传送盒的搬运方法、系统、设备及介质，包括：获取多个机台与多个悬吊式暂存装置的位置信息；根据所述机台的位置信息，构建所述机台与所述悬吊式暂存装置之间的路径信息集；响应于搬运指令，确定当前机台与目标机台的位置信息；以所述目标机台为中心，对所述路径信息集进行迭代更新处理，以获取所述目标机台与所述悬吊式暂存装置的最短路径信息集；根据所述最短路径信息集将晶圆传送盒从所述当前机台搬运到离所述目标机台最近的所述悬吊式暂存装置中。通过本发明公开的一种晶圆传送盒的搬运方法、装置、设备及介质，能够有效缩短晶圆传送盒从当前机台到目标机台的悬吊式暂存装置的搬送距离。
本发明授权一种晶圆传送盒的搬运方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送盒的搬运方法，其特征在于，包括： 获取多个机台与多个悬吊式暂存装置的位置信息； 按照当前机台周围的所述悬吊式暂存装置的编号顺序，获取所述当前机台与周围的所述悬吊式暂存装置之间的路径信息； 按照其他机台周围的所述悬吊式暂存装置的编号顺序，获取所述其他机台与周围的所述悬吊式暂存装置之间的路径信息； 汇总所有的所述路径信息，构建所述机台与所述悬吊式暂存装置之间的路径信息集； 响应于搬运指令，确定当前机台与目标机台的位置信息； 以所述目标机台为中心，对所述路径信息集进行迭代更新处理，以获取所述目标机台与所述悬吊式暂存装置的最短路径信息集； 根据所述最短路径信息集将晶圆传送盒从所述当前机台搬运到离所述目标机台最近的所述悬吊式暂存装置中。
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