应用材料股份有限公司查理斯·T·卡尔森获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料股份有限公司申请的专利线性加速器、离子植入机及操作线性加速器的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116326214B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180068861.1,技术领域涉及:H05H7/22;该发明授权线性加速器、离子植入机及操作线性加速器的方法是由查理斯·T·卡尔森;保罗·J·墨菲;法兰克·辛克莱;威廉·戴维斯·李设计研发完成,并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本线性加速器、离子植入机及操作线性加速器的方法在说明书摘要公布了:提供一种线性加速器、离子植入机及操作线性加速器的方法。所述线性加速器包括:射频电源总成,被布置成输出射频信号;以及漂移管总成,被布置成发射离子束且耦合到射频电源总成。漂移管总成可包括:第一接地电极;AC漂移管总成,设置在第一接地电极的下游;以及第二接地电极,设置在AC漂移管总成的下游,其中所述AC漂移管总成包括至少一个可变长度AC漂移管。
本发明授权线性加速器、离子植入机及操作线性加速器的方法在权利要求书中公布了:1.一种线性加速器,包括: 射频电源总成,被布置成输出射频信号;以及 漂移管总成,被布置成发射离子束且耦合到所述射频电源总成,所述漂移管总成包括: 第一接地电极; 交流漂移管总成,设置在所述第一接地电极的下游;以及 第二接地电极,设置在所述交流漂移管总成的下游, 其中所述交流漂移管总成包括至少一个可变长度交流漂移管。
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