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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器有限公司申请的专利同时实现低温与高温等离子体刻蚀工艺的电极及调控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344301B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111598611.7，技术领域涉及：H01J37/04；该发明授权同时实现低温与高温等离子体刻蚀工艺的电极及调控方法是由李娜;韩大健;王海东;郭颂;刘海洋;张怀东;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本同时实现低温与高温等离子体刻蚀工艺的电极及调控方法在说明书摘要公布了：本发明属于等离子刻蚀技术领域，具体涉及一种同时实现低温与高温等离子体刻蚀工艺的电极及调控方法，所述电极包括电极本体，电极本体包括从上到下依次设置的加热台、导热板和水冷板，水冷板的上表面，在中部位置处设置有导热板嵌槽，导热板嵌槽的槽底与加热台的下表面之间，存在间隙h；导热板嵌装在导热板嵌槽中，且导热板的厚度为h1，h1h；加热台的外侧区域与水冷板的外侧区域之间通过法兰配合连接的方式连接成一体。所述调控方法包括高温和低温两种工况下的调控；所述电极用于承载晶圆，同时结合所述调控方法为晶圆提供刻蚀工艺所需合适的温度。

本发明授权同时实现低温与高温等离子体刻蚀工艺的电极及调控方法在权利要求书中公布了：1.一种同时实现低温与高温等离子体刻蚀工艺的电极，包括电极本体，其特征在于：所述电极本体包括从上到下依次设置的加热台50、导热板70和水冷板60，其中： 所述水冷板60的上表面，在中部位置处设置有导热板嵌槽，所述导热板嵌槽的槽底与所述加热台50的下表面之间，存在间隙h； 所述导热板70嵌装在所述导热板嵌槽中，且所述导热板70的厚度为h1，h1h； 所述导热板70上部与所述加热台50之间存在间隙h-h1，通过更换导热板70调整所述导热板70的厚度h1，来调整所述导热板70上部与所述加热台50之间的间隙h-h1，从而调节所述水冷板60的低温度与所述加热台50的高温度之间的传热效果； 所述加热台50包括能够连接成一体的上层板501和下层板502；所述上层板501盖设在所述下层板502上方，所述下层板502内部安装有加热丝；所述下层板502为前述的加热台50的下部结构； 所述加热台50的外侧区域与所述水冷板60的外侧区域之间通过法兰配合连接的方式连接成一体； 低温为-30℃～20℃，高温为180℃～400℃。

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