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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利温控系统、真空镀膜设备以及串级控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116377411B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310368794.6，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权温控系统、真空镀膜设备以及串级控制方法是由江元元;夏慧;张晓军;李炳坤;龚文志;孙守祥;姚酉设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本温控系统、真空镀膜设备以及串级控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种温控系统、真空镀膜设备以及串级控制方法。温控系统包括升温组件、制冷组件、第一PID控制器和第二PID控制器。第一PID控制器包括第一接收端、第二接收端、第一输出端和第二输出端，第一接收端和第二接收端分别用于接收目标温度信号和实际温度信号，第一输出端与升温组件电连接。第二PID控制器包括第三接收端、第四接收端和第三输出端，第三接收端与第二输出端连接，第四接收端用于接收制冷组件的冷却液的温度信号，第三输出端与制冷组件电连接。通过将第一PID控制器和第二PID控制器进行串联，并通过第一PID控制器和第二PID控制器分别对升温组件和制冷组件进行控制，能够使得升温组件和制冷组件的工作是联动的，从而提高温度切换的效率。

本发明授权温控系统、真空镀膜设备以及串级控制方法在权利要求书中公布了：1.温控系统，用于真空镀膜设备，其特征在于，包括： 升温组件； 制冷组件； 第一PID控制器，包括第一接收端、第二接收端、第一输出端和第二输出端，所述第一接收端和所述第二接收端分别用于接收目标温度信号和实际温度信号，所述第一输出端与所述升温组件电连接； 第二PID控制器，包括第三接收端、第四接收端和第三输出端，所述第三接收端与所述第二输出端连接，所述第四接收端用于接收所述制冷组件的冷却液的温度信号，所述第三输出端与所述制冷组件电连接； 所述第一PID控制器和所述第二PID控制器通信，以共同控制所述温控系统的升温和冷却，其中，所述第一PID控制器控制所述升温组件的运转，并输出第一控制值，所述第二PID控制器接收所述第一控制值，并依据所述第一控制值和所述温度信号输出第二控制值以控制所述制冷组件的运转。

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