细美事有限公司梁孝源获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置及用于处理基板的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116382028B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310004530.2，技术领域涉及：G03F1/80；该发明授权用于处理基板的装置及用于处理基板的方法是由梁孝源;尹铉;朴永镐;金泰熙;郑仁基;金光燮设计研发完成，并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置及用于处理基板的方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供一种基板处理装置。基板处理装置包括支承单元，其配置为旋转并支承基板；液体供应单元，其配置为将液体供应至支承于支承单元上的基板；及光学模块，用于加热支承于支承单元上的基板，且其中支承单元包括示教构件，示教构件具有显示与支承单元的中心匹配的参考点的栅格。
本发明授权用于处理基板的装置及用于处理基板的方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包含： 支承单元，所述支承单元配置为旋转并支承基板； 液体供应单元，所述液体供应单元配置为供应液体至支承于所述支承单元上的所述基板；以及 光学模块，所述光学模块用于加热支承于所述支承单元上的所述基板；以及 控制器，所述控制器用于控制所述支承单元及所述光学模块，以及 其中，所述支承单元包括示教构件，所述示教构件具有显示与所述支承单元的中心匹配的参考点的栅格， 所述光学模块包括： 激光单元，所述激光单元配置为经由头喷嘴将激光照射至支承于所述支承单元上的所述基板；以及 成像单元，所述成像单元配置为通过经由所述头喷嘴对目标对象成像来获取图像， 其中所述控制器将所述头喷嘴移动至以恒定速度旋转的所述示教构件的顶侧，通过对旋转所述示教构件进行成像来获取包括所述栅格的图像，且 计算在设定时间期间通过包括所述图像的整个区域中的所述图像的中心的设定区域的栅格数目，并基于所述栅格数目中的改变将所述头喷嘴的所述中心移动至所述参考点。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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