先进尼克斯有限公司阿瑟·凯格勒获国家专利权
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龙图腾网获悉先进尼克斯有限公司申请的专利用于电镀的自适应聚焦和输送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116497426B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310063307.5，技术领域涉及：C25D17/00；该发明授权用于电镀的自适应聚焦和输送系统是由阿瑟·凯格勒;大卫·瓜尔纳烚;弗里曼·费雪;德梅特留斯·帕帕帕纳约图;乔纳森·海恩斯;丹尼尔·古德曼设计研发完成，并于2023-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于电镀的自适应聚焦和输送系统在说明书摘要公布了：一种用于电镀工件的系统和方法。一方面，设备包括沉积室、适于插入和移出所述沉积室的工件固持器、具有与所述工件上的特征相对应的孔径图案的屏蔽件、同样适于插入和移出所述沉积室的屏蔽件固持器、以及将所述工件定位在所述工件固持器中的定位机构，使得当所述工件固持器和所述屏蔽件固持器插入所述沉积室时，所述屏蔽件上的所述孔径图案将与所述工件上的所述相应特征对齐。
本发明授权用于电镀的自适应聚焦和输送系统在权利要求书中公布了：1.一种用于在工件的各个目标位置将金属特征沉积到所述工件上的电化学沉积系统，包括： 沉积室，其适于在使用中接收电镀液； 工件固持器，其用于将工件固持在第一平面中，所述工件固持器在固持所述工件的同时适于插入所述沉积室和从所述沉积室移出； 屏蔽件，其包括其中形成有孔径图案的基本平坦的板，所述孔径图案在使用中基本对应于所述目标位置； 屏蔽件固持器，其用于在基本平行于所述第一平面的第二平面中固持所述屏蔽件，所述屏蔽件固持器适于在固持所述屏蔽件的同时插入所述沉积室和从所述沉积室移出；以及 定位机构，其用于调整所述工件在所述第一平面内的位置，其中所述定位机构能够操作以定位所述工件，以便当所述工件固持器和所述屏蔽件固持器插入所述沉积室时，所述目标位置基本上与所述孔径图案对齐。
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