株式会社斯库林集团田中友耶获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理液、基板处理方法以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116656166B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310109948.X，技术领域涉及：C09D5/20；该发明授权基板处理液、基板处理方法以及基板处理装置是由田中友耶;尾辻正幸;田中孝佳设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理液、基板处理方法以及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有优异的干燥性能且能够良好地去除附着于基板表面的液体的基板处理液、基板处理方法以及基板处理装置。在本发明中，基板处理液具备升华性物质、溶解所述升华性物质的溶剂、以及助剂，所述助剂通过添加至用所述溶剂溶解所述升华性物质所得的溶液中，从而使超过溶解度的所述升华性物质的粒子分散于所述溶液中。因此，在基板处理液中超过溶解度的升华性物质的粒子均匀地分散并溶解于溶剂中。因此，向基板的图案形成面供给的升华性物质比现有技术多，在图案的内部存在大量的升华性物质固相。其结果是，可有效地抑制图案间的溶剂残存，可在利用升华性物质固相牢固地保持图案的状况下执行升华干燥。
本发明授权基板处理液、基板处理方法以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理液，其为用于去除具有图案形成面的基板上的液体的基板处理液，其特征在于，包含： 升华性物质； 溶解所述升华性物质的溶剂；以及 助剂，其通过添加至用所述溶剂溶解所述升华性物质所得的溶液中，从而使超过溶解度的所述升华性物质的粒子分散于所述溶液中， 所述升华性物质为环己酮肟，所述助剂以所述溶液中的所述升华性物质的Zeta电位为负的方式进行所述溶液的pH调节， 所述超过溶解度的所述升华性物质的粒子分散于所述溶液中。
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