日本碍子株式会社野中健太朗获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利溅射靶获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116981794B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280018157.X，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权溅射靶是由野中健太朗;矶田佳范;今井克宏设计研发完成，并于2022-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射靶在说明书摘要公布了：本发明提供低氧浓度、在溅射时不易开裂、且基于溅射的成膜速度快的氮化镓系镓溅射靶。溅射靶1由氮化镓系结晶体2形成，该氮化镓系结晶体2由在针对规定面2a的法线方向上按c轴方位取向的多个氮化镓系单晶粒子3构成。氮化镓系结晶体2的总氧浓度为150质量ppm以下，氮化镓系单晶粒子3的氧浓度的基于动态SIMS法的测定值为2×1017cm‑3以上。
本发明授权溅射靶在权利要求书中公布了：1.一种溅射靶，其由氮化镓系结晶体形成，该氮化镓系结晶体由在针对规定面的法线方向上按c轴方位取向的多个氮化镓系单晶粒子构成， 所述溅射靶的特征在于， 所述氮化镓系结晶体的总氧浓度为150质量ppm以下，所述氮化镓系单晶粒子的氧浓度的基于动态SIMS法的测定值为2×1017cm-3以上。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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