河北恒博新材料科技股份有限公司李庆丰获国家专利权
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龙图腾网获悉河北恒博新材料科技股份有限公司申请的专利一种平面靶材背板变形的校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117026175B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311020589.7,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种平面靶材背板变形的校正方法是由李庆丰;骆胜磊;郝鹏飞;骆胜华;骆利军;骆胜飞;骆胜金;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜设计研发完成,并于2023-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平面靶材背板变形的校正方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种平面靶材背板变形的校正方法,属于靶材制造技术领域,步骤一,待绑定的铜背板2固定在可移动的金属板上,加热,升温至170‑190℃;步骤二,将作为焊接材料的铟均匀涂镀在步骤一的铜背板上,再将ITO靶材钎焊在铜背板上得到靶材背板组合体;步骤三,停止加热,靶材背板组合体自然降温,将带有靶材背板组合体的金属板转移至装有与靶材相同温度的超声波水槽中,保温并超声;步骤四,控制超声波中的水降温至室温,将带有靶材背板组合体的金属板转移出来静置,除去金属板,测量靶材平整度。本发明方法处理完的单块靶材1m以上的靶材整体的平整度可控制在0‑2mm的范围内,在后续的使用过程中大大降低了靶材破裂的风险。
本发明授权一种平面靶材背板变形的校正方法在权利要求书中公布了:1.一种平面靶材背板变形的校正方法,其特征在于包括以下步骤: 步骤一,待绑定的铜背板2固定在可移动的金属板3上,加热,升温至170-190℃; 步骤二,将作为焊接材料的铟均匀涂镀在步骤一的铜背板2上,再将ITO靶材1钎焊在铜背板上得到靶材背板组合体; 步骤三,停止加热,靶材背板组合体自然降温,将带有靶材背板组合体的金属板转移至装有与靶材相同温度的超声波水槽中,保温并超声;保温温度为80-90℃,保温时间为2-4h; 步骤四,控制超声波中的水降温至室温,将带有靶材背板组合体的金属板转移出来静置,除去金属板3,测量靶材平整度;降温速率为5-25℃h。
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