中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司马毅斌获国家专利权
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龙图腾网获悉中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司申请的专利一种除去NF3电解气体中多氟化物的工艺及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117125676B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311155805.9，技术领域涉及：C01B7/19；该发明授权一种除去NF3电解气体中多氟化物的工艺及装置是由马毅斌;李茹霞;张明杰;胡阳;田金金;李永琛;董云龙;马超设计研发完成，并于2023-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种除去NF3电解气体中多氟化物的工艺及装置在说明书摘要公布了：本申请涉及三氟化氮制备的领域，具体涉及一种除去NF3电解气体中多氟化物的工艺及装置。该工艺主要是NF3电解气体经热裂解塔后，NF3电解气体中N2F2和N2F4会裂解成N2和F2，在气相反应器中，引入N2和H2混合配气，与NF3电解气体中F2反应生成HF，经HF吸收装置、碱洗塔去除NF3气体中的F2和HF，达到去除NF3气体中多氟化物的目的，该工艺简单，环保，可以消除含氟废液的产生。
本发明授权一种除去NF3电解气体中多氟化物的工艺及装置在权利要求书中公布了：1.一种除去NF3电解气体中多氟化物的工艺，其特征在于，包括如下步骤： S1、将NF3电解气体经过裂解处理，使得N2F2、N2F4经裂解形成N2和F2，得到包含NF3、N2和F2的混合气； S2、将步骤S1得到的混合气与含有H2的混合配气混合，经由气相反应生成HF，得到包含NF3、N2和HF的混合气； S3、利用水对S2得到的混合气进行HF吸收处理，得到HF水溶液； S4、对步骤S3处理后的气相进行碱洗处理，将残余的HF吸收； 步骤S2中，含有H2的混合配气为N2H2混合配气，混合配气中，H2含量为50%~90%；混合配气与NF3混合气体按体积比为1:5~20混合； 所述工艺依托如下装置完成：装置包括依次接通的热裂解塔1、缓冲塔2、气相反应器3、HF吸收装置4和碱洗塔5； 气相反应器3中的反应温度为20~80℃；气体在气相反应器3中停留的时间为50~300s； 气体进入气相反应器3中的进气压力为0.15~0.4Mpa，流速为0.2~2ms。
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