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北京细胞膜科技有限公司彭天放获国家专利权

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龙图腾网获悉北京细胞膜科技有限公司申请的专利一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117192153B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311041079.8,技术领域涉及:G01P15/08;该发明授权一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构是由彭天放;乔昱阳;夏阳;韩盈舟设计研发完成,并于2023-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构在说明书摘要公布了:本发明提供一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构,其中,加速度传感器敏感组件,包括:基板、弹性梁和电热驱动梁,弹性梁安装于基板且固接有框架,框架设有第一梳齿部,第一梳齿部包括多个间隔设置的第一子梳齿,任意相邻的第一子梳齿之间形成梳齿槽;电热驱动梁,安装于基板且位于框架内,电热驱动梁固接有支架,支架设有第二梳齿部,第二梳齿部包括多个间隔设置的第二子梳齿,第二子梳齿分别位于梳齿槽中。本发明提供的加速度敏感组件,实现梳齿间隙的改变,使得梳齿间隙缩小至数百纳米甚至数十纳米,提高了加速度传感器的灵敏度;可以实现对加速度传感器敏感组件的零偏的校准;此外,结构设计紧凑,成本低。

本发明授权一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构在权利要求书中公布了:1.一种加速度传感器敏感组件,其特征在于,包括: 基板100; 弹性梁110,安装于所述基板100且固接有框架120,所述框架120设有第一梳齿部130,所述第一梳齿部130包括多个间隔设置的第一子梳齿131,任意相邻的所述第一子梳齿131之间形成梳齿槽132;所述弹性梁110的数量为2个且相对设置,所述框架120的两端分别固接于2个所述弹性梁110; 电热驱动梁140,安装于所述基板100且位于所述框架120内,所述电热驱动梁140固接有支架150,所述支架150设有第二梳齿部160,所述第二梳齿部160包括多个间隔设置的第二子梳齿161,所述第二子梳齿161分别位于所述梳齿槽132中; 所述电热驱动梁140的数量为2个且相对设置,所述支架150的两端分别固接于2个所述电热驱动梁140;和或,所述电热驱动梁140的截面形状为V型、N型和A型中的至少一种;和或,所述电热驱动梁140包括多组并联设置的电热子驱动梁。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京细胞膜科技有限公司,其通讯地址为:100190 北京市海淀区中关村东路66号1号楼2层商业5-032;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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