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龙图腾网获悉宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司申请的专利C形结构排气硅环加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117206987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311362981.X，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权C形结构排气硅环加工方法是由高胜贤;马建仁;张晓明;丁亚国;吴悦设计研发完成，并于2023-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本C形结构排气硅环加工方法在说明书摘要公布了：一种C形结构排气硅环加工方法，包括以下步骤，采用圆磨机对硅环毛坯料的A、C面进行粗加工，使A、C面的平面度加工至0.05～0.08mm、平行度加工至0.07～0.1mm；采用立式加工中心对硅环毛坯料的A面内径及C形腔进行半精加工；采用水切机对硅环毛坯料的C面椭圆形槽、C面内径进行精加工；采用立式加工中心对硅环毛坯料的C面特征和C形内腔进行精加工；采用立式加工中心对硅环毛坯料的A面进行精加工。本发明采用新的加工工序和加工方法，提升了加工效率；选用了合适的加工工具，降低了加工成本，提高了合格率。

本发明授权C形结构排气硅环加工方法在权利要求书中公布了：1.一种C形结构排气硅环加工方法，其特征在于：包括以下步骤， S1：采用圆磨机对硅环毛坯料的A、C面进行粗加工，使A、C面的平面度加工至0.05～0.08mm、平行度加工至0.07～0.1mm； S2：采用立式加工中心对硅环毛坯料的A面内径及C形腔进行半精加工； S3：采用水切机对硅环毛坯料的C面椭圆形槽、C面内径进行精加工； 其中，对硅环毛坯料的C面椭圆形槽、C面内径进行精加工采用以下步骤， a：通过水切机夹紧工装将硅环毛坯料固定装夹，将拼装好的防护合金垫板放置于硅环毛坯料的内腔中，将水切机水刀刀刃宽度通过调整压力和选择喷嘴设定到0.5～0.8mm，并采用150～250目金刚砂，对硅环毛坯料的C面椭圆形槽进行精加工； b：将水切机水刀刀刃宽度通过调整压力和选择喷嘴设定到0.5～0.8mm，采用150～250目金刚砂，对硅环毛坯料的C面内径进行精加工； S4：采用立式加工中心对硅环毛坯料的C面特征和C形内腔进行精加工； S5：采用立式加工中心对硅环毛坯料的A面进行精加工。

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