拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司朱鹤囡获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司申请的专利镀膜箱及加工设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117265503B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311431975.5,技术领域涉及:C23C16/44;该发明授权镀膜箱及加工设备是由朱鹤囡;林佳继;刘群设计研发完成,并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜箱及加工设备在说明书摘要公布了:本发明属于真空镀膜设备技术领域,公开了一种镀膜箱及加工设备。该镀膜箱包括箱体、腔门以及传动机构。箱体的上端具有开口,腔门封盖于开口,传动机构包括固定组件和活动组件,固定组件设置于箱体内壁,活动组件的第一端连接于腔门,活动组件的第二端与固定组件滑动连接。其中,活动组件能够带动腔门向远离箱体的方向直线运动,并使得腔门向外翻转,以打开箱体。该镀膜箱有利于提升其内部的密封性能,且能够解决镀膜箱开合时,与其内部结构发生干涉的问题。
本发明授权镀膜箱及加工设备在权利要求书中公布了:1.镀膜箱,其特征在于,包括: 箱体100,所述箱体的上端具有开口; 腔门200,所述腔门200封盖于所述开口; 传动机构300,包括固定组件310和活动组件320,所述固定组件310设置于所述箱体100内壁,所述活动组件320的第一端连接于所述腔门200,所述活动组件320的第二端与所述固定组件310滑动连接; 其中,所述活动组件320能够带动所述腔门200向远离所述箱体100的方向直线运动,并使得所述腔门200向外翻转,以打开所述箱体100; 所述固定组件310设有导轨,所述导轨包括直线导轨311和弧形导轨312,所述直线导轨311朝向所述开口延伸设置,所述弧形导轨312的第一端与所述直线导轨311连通,所述弧形导轨312的第二端朝向所述开口延伸设置; 所述活动组件320包括从动杆322、支撑架323和第一滑块324,所述支撑架323的一端固定连接于所述腔门200,所述支撑架323的另一端通过所述第一滑块324可转动地连接于所述从动杆322的端部,所述第一滑块324滑动设置于所述导轨; 其中,所述从动杆322用于带动所述第一滑块324由所述直线导轨311滑动到所述弧形导轨312,以使所述腔门200远离所述开口后向外翻转,及带动所述第一滑块324由所述弧形导轨312滑动到所述直线导轨311,以使所述腔门200向内翻转后靠近所述开口; 所述直线导轨311包括远离所述开口的第一直线部和靠近所述开口的第二直线部,所述第一直线部与所述第二直线部的连接处为所述弧形导轨312的第一端; 所述活动组件320还包括第二滑块325,所述第二滑块325与所述第一滑块324间隔设置,所述第二滑块325滑动设置于所述第二直线部; 所述第一滑块324滑动设置于所述第一直线部及所述弧形导轨312; 其中,所述从动杆322用于带动所述第一滑块324沿所述第一直线部做直线往复运动,并带动所述第二滑块325沿所述第二直线部做同向的直线往复运动,以使所述腔门200靠近或远离所述开口;所述从动杆322用于带动所述第一滑块324在所述弧形导轨312的第一端和所述弧形导轨312的第二端之间往复滑动,以使所述腔门200向外翻转或向内翻转; 所述活动组件320还包括驱动杆321; 所述驱动杆321的一端位于所述弧形导轨312远离所述开口的一侧,并用于在外部驱动组件的驱动作用下转动; 所述驱动杆321的另一端可转动地连接于所述从动杆322未与所述支撑架323连接的一端; 其中,所述驱动杆321用于在驱动作用下转动,使得第一滑块324、第二滑块325沿所述直线导轨311滑动,及所述第一滑块324沿所述弧形导轨312滑动。
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