宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种钨硅合金靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117646176B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311722051.0，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种钨硅合金靶材的制备方法是由姚力军;潘杰;苏阳能;王学泽设计研发完成，并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钨硅合金靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种钨硅合金靶材的制备方法，所述制备方法包括：将钨粉和硅粉混合后进行压合，之后热压烧结，得到钨硅合金靶材；其中，所述压合包括依次进行的第一压合和梯度超声压合；所述梯度超声压合中压力和超声功率同步递增。本发明提供的制备方法，通过借助特定的压合过程，显著提升了所得钨硅合金靶材的使用性能，所得钨硅靶材的密实度，具有≥99％以上的相对密度，避免了钨硅合金靶材在使用过程不存在由于合金化不足而导致的掉粉问题。
本发明授权一种钨硅合金靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种钨硅合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括： 将钨粉和硅粉混合后进行压合，之后热压烧结，得到钨硅合金靶材； 其中，所述硅粉的粒度≤10μm；所述压合包括依次进行的第一压合和梯度超声压合；所述梯度超声压合中压力和超声功率同步递增；所述梯度超声压合中压力的增加速率为100-120Nmin；所述梯度超声压合中超声功率的增加速率为500-520Wmin；所述第一压合的压力为100-120N，时间为1-1.5min；所述梯度超声压合中超声的频率为20-30MHz；所述梯度超声压合的终点压力为500-600N；所述梯度超声压合的终点超声功率为2800-3000W；所述梯度超声压合达到终点压力和终点超声功率后保持1-2min。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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