新毅东(上海)科技有限公司张琪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利基于异步状态机实现的光刻机对准控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117724308B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311817904.9，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权基于异步状态机实现的光刻机对准控制方法是由张琪;符友银设计研发完成，并于2023-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于异步状态机实现的光刻机对准控制方法在说明书摘要公布了：提供了一种基于异步状态机实现的光刻机对准控制方法。该基于异步状态机实现的光刻机对准控制方法包括：响应于光刻机对准流程开始，启动异步状态机；基于所述异步状态机并行执行光罩版工作台的光罩版加载和硅片工作台的硅片加载；以及，所述异步状态机同步所述光罩版工作台的光罩版加载和所述硅片工作台的硅片加载的完成，并触发顺序执行光罩版精对准、硅片调平调焦和硅片对准。这样，通过异步状态机解决光刻机对准控制流程中的不同状态变化不同步的问题，同时实现部分状态并发同步控制，提升了对准效率、使用灵活性和扩展性。
本发明授权基于异步状态机实现的光刻机对准控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于异步状态机实现的光刻机对准控制方法，包括： 响应于光刻机对准流程开始，启动异步状态机；所述异步状态机进行前置状态和后置状态之间的状态流转并执行操作； 基于所述异步状态机并行执行光罩版工作台的光罩版加载和硅片工作台的硅片加载；以及 所述异步状态机同步所述光罩版工作台的光罩版加载和所述硅片工作台的硅片加载的完成，并触发顺序执行光罩版精对准、硅片调平调焦和硅片对准； 其中，所述硅片工作台的硅片加载包括： 基于所述异步状态机并行执行基准标记调焦和硅片预加载； 基于所述异步状态机同步基准标记调焦和硅片预加载的完成触发硅片工作台上片；以及，在硅片工作台上片之后顺序执行硅片工作台对准。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新毅东(上海)科技有限公司，其通讯地址为：201705 上海市青浦区华新镇北青公路3888号20幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励