南方科技大学马续航获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利一种梯度氧化镍薄膜及制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118064831B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410083187.X，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种梯度氧化镍薄膜及制备方法和应用是由马续航;马国强;张锐;王尧;王春柱设计研发完成，并于2024-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种梯度氧化镍薄膜及制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种梯度氧化镍薄膜及制备方法和应用，包括以下步骤：先将反应腔室抽真空，再将靶材放入反应腔室，通入氩气，启辉，所述靶材为纯镍靶；再通入氧气，梯度调节氧气含量，采用反应磁控溅射方法在氩气和氧气混合气体气氛下在靶材上沉积溅射，设定溅射功率和沉积时间，得到表面氧含量梯度变化的所述梯度氧化镍薄膜；相比现有的化学沉积法，本发明的制备方法工艺稳定，组分稳定，得到的氧化镍薄膜厚度为10nm，较小晶粒使薄膜具备了最佳导电率，不仅可以阻挡吸收层电子通向底电极ITO层，同时良好的导电率可以导走空穴，从而减少无效复合，最终为提升电池效率作出贡献。
本发明授权一种梯度氧化镍薄膜及制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种梯度氧化镍薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 先将反应腔室抽真空，再将靶材放入反应腔室，通入氩气，启辉，所述靶材为纯镍靶； 再通入氧气，梯度调节氧气含量，采用反应磁控溅射方法在氩气和氧气混合气体气氛下在靶材上沉积溅射，设定溅射功率和沉积时间，得到表面氧含量梯度变化的所述梯度氧化镍薄膜； 所述溅射功率为40-60W； 所述沉积时间为1-1.5分钟； 所述梯度调节氧气含量为由低到高变化； 所述梯度调节氧气含量范围为5%-13%； 整个沉积过程保持所述反应腔室内的总压强为0.5Pa。
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