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吉林大学刘学青获国家专利权

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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种在铌酸锂表面制备高精度复杂金属图案结构的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118527966B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410815817.8,技术领域涉及:B23P15/00;该发明授权一种在铌酸锂表面制备高精度复杂金属图案结构的方法是由刘学青;田克帅;陈岐岱;孙洪波设计研发完成,并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种在铌酸锂表面制备高精度复杂金属图案结构的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种在铌酸锂表面制备高精度复杂金属图案结构的方法,属于激光微纳加工技术领域,包括:步骤一:待加工样品制备;步骤二:飞秒激光内部改性待加工样品;步骤三:对加工样品进行机械抛光与光致还原;该方法通过将飞秒激光深入到晶体内部进行改性,具体的在聚焦位置处光子将能量传递给电子,电子将一部分能量传递给晶格,进而使晶格发生振动,导致聚焦位置处温度升高,使得晶体材料发生相变。从而改性区域分子原有的周期性排列被破坏,由原来的有序状态转变为无序状态,其内电子也更易被激发。在这种情况下,经机械抛光暴露的改性区域较未辐照区域对金属离子的捕获能力大大提升,从而可实现金属图案的制备。在本发明中,通过控制激光脉冲能量、脉冲数目以及作用路径,可实现各种高精度、复杂的金属图案制备。

本发明授权一种在铌酸锂表面制备高精度复杂金属图案结构的方法在权利要求书中公布了:1.一种在铌酸锂表面制备高精度复杂金属图案结构的方法,其特征在于,具体包括如下步骤: 步骤一:待加工样品制备; 首先将待加工样品分别置于丙酮、乙醇以及去离子水中超声清洗,并用洗耳球吹干,以获得洁净的晶体表面,样品制备完成; 步骤二:飞秒激光内部改性待加工样品; 首先,利用水平仪将三维电控平台进行调平,之后将待加工样品固定在加工平台上;飞秒激光放大器出射的飞秒激光进入微纳加工系统后,经物镜聚焦到待加工样品上表面以下深度为d的位置;随后,调节激光出射功率,将预先设计好的加工文件导入加工程序,采用逐线、逐层扫描的方法进行从内部往近表面的直写加工,得到图案化的改性区域; 步骤三:对加工样品进行机械抛光与光致还原; 具体步骤为:首先,将步骤二加工得到的样品利用抛光机进行机械抛光,去除厚度为d的表面层,使得改性区暴露;之后按照丙酮、乙醇以及去离子水的顺序清洁,用来清理抛光后的碎屑以及残留的抛光液;然后将样品置于硝酸银溶液中,并使用热台对硝酸银溶液进行加热;同时用紫外灯对样品进行照射,使得改性区的电子被激发并吸附溶液中的银离子,形成原位沉积效果;随后将沉积后的样品从溶液中取出并用洗耳球吹干;经光致还原后金属沉积在激光改性区域,形成图案化金属结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人吉林大学,其通讯地址为:130012 吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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