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龙图腾网获悉江苏优众微纳半导体科技有限公司申请的专利一种整片晶圆纳米压印的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118642322B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410768784.6，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权一种整片晶圆纳米压印的装置和方法是由居法银;陈敏敏;吏国宝设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种整片晶圆纳米压印的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种整片晶圆纳米压印的装置和方法，包括储料箱以及设置于储料箱一侧顶部的传输台，所述储料箱内部的两侧均通过传动件设置有若干个支撑板，且左右两个所述支撑板的顶面之间放置有晶圆，所述传输台的背面固定设置有第一电动滑轨，且第一电动滑轨的顶面滑动设置有第一电动推杆，本发明涉及晶圆生产技术领域。该整片晶圆纳米压印的装置和方法，通过吸附取料机构的设置，能够自动从储料盒的内部吸附取出晶圆并摆放在放置板的顶面，并在完成纳米压印后又可将晶圆转移至传输台的顶面，通过传输台从而实现晶圆的下料转移工作，实现了晶圆的自动上下料，大大减轻了工作强度，也可避免因人员失误造成晶圆破碎的问题。

本发明授权一种整片晶圆纳米压印的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种整片晶圆纳米压印的装置，包括储料箱以及设置于储料箱一侧顶部的传输台，其特征在于：储料箱内部的两侧均通过传动件设置有若干个支撑板，且左右两个支撑板的顶面之间放置有晶圆，传输台的背面固定设置有第一电动滑轨，且第一电动滑轨的顶面滑动设置有第一电动推杆，第一电动推杆的伸出端通过安装板设置有吸附取料机构； 吸附取料机构包括转动设置于安装板内部的螺纹套筒，且螺纹套筒的内部螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆的内部设置有竖管，且竖管位于螺纹杆底面的一端连通有吸附管，竖管表面的两侧均通过L形杆固定设置有第二电动推杆，且第二电动推杆的伸出端通过连接块转动设置有滑轮； 储料箱的顶面设置有限位固定机构，且限位固定机构包括固定设置于储料箱顶面的环形盒，环形盒的顶面通过支撑腿转动设置有转动环，且转动环的顶面固定设置有异形环，异形环的内部设置有固定环，固定环的内部滑动设置有斜板，斜板的一侧固定设置有第三电动推杆，且第三电动推杆的伸出端固定设置有放置板，放置板的底面连通有L形抽气管，L形抽气管的底端与环形盒的内壁相连通，储料箱的顶面设置有用于驱动转动环进行转动的驱动部； 异形环的内部开设有与斜板相适配的斜槽，斜板位于斜槽内部的一侧呈斜面，固定环的内部开设有与斜板相适配的活动槽，且活动槽内壁的两侧均固定设置有限位块，限位块滑动设置于斜板的内部，限位块的表面与斜板的内部之间设置有夹紧弹簧； 驱动部包括通过支撑柱固定设置于储料箱一侧顶部的控制电机，且控制电机输出轴的一端通过联轴器固定设置有主动齿轮，转动环的表面固定设置有与主动齿轮相啮合的被动齿轮； 储料箱的正面固定设置有第二电动滑轨，且第二电动滑轨的顶面滑动设置有液压油缸，液压油缸的伸出端通过连接杆设置有压印模板，连接杆的表面固定设置有固定罩，且固定罩内壁的顶面固定设置有紫外灯。

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