华侨大学易定容获国家专利权
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龙图腾网获悉华侨大学申请的专利一种反射率不均样本三维形貌测量装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119043210B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411305945.4,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种反射率不均样本三维形貌测量装置及方法是由易定容;何小欠;陈锶铃;海涌杰;刘槟烨;陈超凡;刘楚玥;郭梓彬;邱顺顺;王侯杰设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反射率不均样本三维形貌测量装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种反射率不均样本三维形貌测量装置及方法,包括:结构光照明元件DLP、准直透镜组、偏振分光镜、14波片、电机、色散管镜、物镜、放置被测样本的载物台、聚焦透镜、二相色镜、第一滤光片、第一相机、全反射棱镜、第二滤光片、第二相机和微处理器;所述14波片、电机、色散管镜、物镜、载物台、聚焦透镜、第一相机及第二相机同光轴垂直,所述结构光照明元件DLP、偏振片和准直透镜组同光轴平行,且与被测样本反射的光轴线垂直。本发明结构简单,能够快速测量反射率不均样本的台阶高度,且能够通过宽场图像来消除因反射率不均带来的乘性误差,具有较高的测量精度。
本发明授权一种反射率不均样本三维形貌测量装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种反射率不均样本三维形貌测量方法,其特征在于,基于反射率不均样本三维形貌测量装置,测量装置包括: 结构光照明元件DLP1、准直透镜组2、偏振分光镜3、14波片4、色散管镜5、电机6、物镜7、放置被测样本的载物台8、二相色镜10、第一相机12、全反射棱镜13、第二相机15和微处理器16; 所述准直透镜组2和偏振分光镜3依次设置在所述结构光照明元件DLP1的发射光路上;所述14波片4、电机6、色散管镜5、物镜7和被测样本依次设置在所述偏振分光镜3的反射光路上; 所述物镜7、色散管镜5、电机6、14波片4和偏振分光镜3还依次设置在所述被测样本的反射光路上; 所述第一相机12设置在所述二相色镜10的透射光路上; 所述全反射棱镜13设置在所述二相色镜10的反射光路上,所述第二相机15设置在所述全反射棱镜13的反射光路上; 所述微处理器16与所述第一相机12和第二相机15分别相连接以获取采集的图像;所述微处理器16与所述电机6相连接以控制电机6带动所述色散管镜5和或物镜7在Z轴方向移动; 所述第一相机12设置在距离第一波段焦点后指定距离处;所述第二相机15设置在距离第二波段焦点前指定距离处;所述第一相机12的参考面、第二相机15的参考面、结构光照明元件DLP1以及被测样本的焦面位置共轭;所述第一波段和第二波段为被测样本表面反射的光经二相色镜10后的两个波段; 测量方法包括: S1,放置待测样本 将样本放置到测量装置的工作范围之内,保持待测样本位置不再变化; S2,获取两个波段的共焦信号 调制结构光照明元件DLP的照明模式,获取图像,重建出两个波段的共焦图像,驱动微处理器同时获取两个波段的共焦图像Aλ1和Aλ2; S3,获取两个波段的宽场信号 调制结构光照明元件DLP为全开照明模式,获取S2步骤中相同条件及位置的样本宽场图像Bλ1和Bλ2; S4,计算被测样本台阶高度 对两组灰度图像进行运算得到图像将标定公式中的线性关系ID用图像Q的灰度值替代,得到被测样本台阶高度,基于台阶高度,得到一张被测样本的灰度图QZ;其中,zD为轴向位置;k和b为拟合出的系数; S5,获取被测样本三维点云 获取微处理器将图像QZ的像素位置作为三维形貌的XY位置,将图像QZ的灰度值作为Z轴方向高度,获得被测样本的三维点云; S6,拟合被测样本三维形貌 微处理器对被测样本的三维点云中点云进行拟合,获得反射率不均样本的三维形貌。
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