西安电子科技大学江希获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利一种集成反向二极管的GaN HEMT器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119317145B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411403665.7,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种集成反向二极管的GaN HEMT器件及其制备方法是由江希;潘超凡;袁嵩;严兆恒;赵云宣;弓小武设计研发完成,并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成反向二极管的GaN HEMT器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种集成反向二极管的GaNHEMT器件及其制备方法,GaNHEMT器件包括:二维电子气结构、源极、漏极、P‑GaN栅极、钝化层、源极场板结构、肖特基接触金属、欧姆接触金属和P‑GaN层;肖特基接触金属与其周围结构构成肖特基二极管,P‑GaN层与其周围结构构成P‑i‑N二极管。本发明集成了并联的肖特基二极管和P‑i‑N二极管,为GaNHEMT器件的反向电流提供了新路径。在反向导通时,既能利用肖特基二极管的低反向导通电压,又能发挥P‑i‑N二极管强大的过流能力;并利用源极场板结构搭建反向导通回路,借助势垒层形成反向导通部分;使得反向导通部分与正向导通时共用漏区,减少了面积。
本发明授权一种集成反向二极管的GaN HEMT器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种集成反向二极管的GaNHEMT器件,其特征在于,包括: 二维电子气结构1、源极2、漏极3、P-GaN栅极4、钝化层5、源极场板结构6、肖特基接触金属7、欧姆接触金属8和P-GaN层9;其中, 所述源极2和漏极3分别设置于二维电子气结构1中势垒层105的两侧; 所述P-GaN栅极4设置于所述二维电子气结构1的上表面靠近所述源极2的部分区域; 所述肖特基接触金属7和所述P-GaN层9设置于所述二维电子气结构1的上表面所述漏极3和P-GaN栅极4之间的部分区域;所述肖特基接触金属7和所述P-GaN层9在GaNHEMT器件的横向方向上交错排列;所述肖特基接触金属7与其周围部分结构构成肖特基二极管,所述P-GaN层9与其周围部分结构构成P-i-N二极管; 所述欧姆接触金属8设置于所述P-GaN层9的上表面; 所述钝化层5设置于所述二维电子气结构1的上表面的剩余区域和所述P-GaN栅极4的上表面; 所述源极场板结构6设置于所述钝化层5的上表面部分区域、所述钝化层5的侧面区域;所述钝化层5的上表面部分区域包括:所述钝化层5的上表面中所述源极2与肖特基接触金属7之间的区域以及所述漏极3与肖特基接触金属7之间靠近所述肖特基接触金属7的部分区域。
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