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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利CVD沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119320938B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411437189.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权CVD沉积装置是由周向阳设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本CVD沉积装置在说明书摘要公布了：本发明属于化学气相沉积技术领域，公开了一种CVD沉积装置，包括加速管道，加速管道包括绝缘管体和电源，绝缘管体的进口端与进气管道的出口端相连接，绝缘管体的进口端设置有金属阴极，反应物通过金属阴极进入绝缘管体内，金属阴极向绝缘管体的出口端的方向延伸，绝缘管体的出口端设置有金属阳极，电源的负极端与金属阴极相连接，电源的正极端与金属阳极相连接，电源选择性地使金属阴极和金属阳极通电断电。CVD沉积装置通过在反应物进入反应腔室内，由电极模块将反应物电离成等离子体状态之前，反应物在经过加速管道时率先进行了一次电离，而后再进入反应腔室进行第二次电离，提高了CVD膜沉积率，减小了沉积时间保障生产效率。

本发明授权CVD沉积装置在权利要求书中公布了：1.CVD沉积装置，包括反应腔室以及与所述反应腔室相连通的进气管道，其特征在于，还包括加速管道，所述加速管道包括绝缘管体和电源，所述绝缘管体的进口端与所述进气管道的出口端相连接，所述绝缘管体的进口端设置有金属阴极，反应物通过所述金属阴极进入所述绝缘管体内，所述金属阴极向所述绝缘管体的出口端的方向延伸，所述绝缘管体的出口端设置有金属阳极，所述电源的负极端与所述金属阴极相连接，所述电源的正极端与所述金属阳极相连接，所述电源选择性地使所述金属阴极和所述金属阳极通电断电； 所述金属阴极包括扩散电极和导向电极，所述扩散电极是网状结构，所述扩散电极设置于所述绝缘管体的进口端，所述导向电极与所述绝缘管体同轴设置，所述导向电极位于所述绝缘管体之内，所述导向电极的一端设置于所述扩散电极端面中心处； 所述绝缘管体至少包括电离段和导流段，所述金属阴极设置于所述电离段的一端，所述电离段的另一端与所述导流段相连接，所述导流段的直径由与所述电离段相连的一端朝向其另一端逐渐减小； 所述绝缘管体还包括安装段，所述安装段的一端设置于所述导流段的小口端，所述安装段的另一端与所述金属阳极相连，所述安装段的外部套设有磁环。

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