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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利一种晶圆处理装置及晶圆处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381322B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410554206.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆处理装置及晶圆处理方法是由白金宝设计研发完成，并于2024-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆处理装置及晶圆处理方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆处理装置及晶圆处理方法，该晶圆处理装置包括粗对准单元和细对准单元中的至少一个；粗对准单元包括具有晶圆对准引导面的空心圆环，细对准单元包括检测晶圆边缘位置的晶圆位置检测器和带动晶圆移动的水平位移器；本申请通过在晶圆保持器的上方设置具有晶圆对准引导面的空心圆环，使偏移较大的晶圆能够被晶圆对准引导面引导至下落到晶圆保持器上，实现对晶圆的粗对准；通过晶圆位置检测器和在一个方向上移动的水平位移器实现对晶圆的细对准，不仅能够防止旋转中的晶圆甩飞破片、提高工艺的稳定性，还能使细对准单元的结构简单、成本低以及校正便捷。

本发明授权一种晶圆处理装置及晶圆处理方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理装置，包括晶圆保持器和晶圆支撑器，所述晶圆保持器用于承载和保持晶圆，所述晶圆保持器能够旋转并具有旋转中心和对应的旋转轴，所述晶圆支撑器至少能够承载所述晶圆进行竖直运动，以将所述晶圆放置于所述晶圆保持器上或使所述晶圆脱离所述晶圆保持器；其特征在于，所述晶圆处理装置还包括：粗对准单元和细对准单元； 所述粗对准单元包括空心圆环，所述空心圆环设置于所述晶圆保持器承载或保持的所述晶圆的上方，所述空心圆环的内径大于所述晶圆，所述空心圆环的内壁具有晶圆对准引导面，所述晶圆对准引导面在自上向下的方向上逐渐向所述旋转轴靠近；所述晶圆处理装置被配置为，所述晶圆支撑器承载所述晶圆进行竖直运动，以将所述晶圆放置于所述晶圆保持器上的过程中，所述晶圆穿过所述空心圆环； 所述细对准单元包括： 晶圆位置检测器，用于检测所述晶圆保持器上的晶圆的晶圆边缘位置，所述晶圆边缘位置包括晶圆的边缘上的测量点与旋转中心之间的水平距离，并根据所述水平距离生成距离信号； 水平位移器，所述水平位移器与所述晶圆支撑器连接，用于带动所述晶圆支撑器上的晶圆沿目标水平方向移动； 所述晶圆处理装置还包括控制器，所述晶圆保持器、所述晶圆支撑器、所述晶圆位置检测器和所述水平位移器均连接于所述控制器，所述控制器被配置为：能够根据所述晶圆保持器和所述晶圆位置检测器之间相对旋转的角速度，和测量所述晶圆边缘位置时测量所述测量点的时间，获取所述测量点的角位置。

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