上海华力集成电路制造有限公司张杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利改善等离子体稳定性的结构和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400678B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411546945.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权改善等离子体稳定性的结构和方法是由张杰设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本改善等离子体稳定性的结构和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种改善等离子体稳定性的结构，包括：射频发生器、匹配器、放电调节电阻和等离子体负载结构。射频发生器的输出端连接匹配器的输入端，匹配器的输出端连接放电调节电阻的第一端，放电调节电阻的第二端连接等离子负载结构。放电调节电阻用于在等离子负载结构中产生放电电流时提供一和放电电流成正比的放电调节电压并从而使等离子负载结构上的放电电压减少，从而提高等离子体稳定性。本发明还公开了一种改善等离子稳定性的方法。本发明能控制等离子体的放电电压，从而使等离子放电稳定，减少电弧发生概率，从而能改善产品工艺并提高产能。
本发明授权改善等离子体稳定性的结构和方法在权利要求书中公布了：1.一种改善等离子体稳定性的结构，其特征在于，包括：射频发生器、匹配器、放电调节电阻和等离子体负载结构； 所述射频发生器的输出端连接所述匹配器的输入端，所述匹配器的输出端连接所述放电调节电阻的第一端，所述放电调节电阻的第二端连接所述等离子体负载结构； 所述放电调节电阻用于在所述等离子体负载结构中产生放电电流时提供一和所述放电电流成正比的放电调节电压并从而使所述等离子体负载结构上的放电电压减少，从而提高等离子体稳定性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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