买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种扫描电镜组件检漏工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119437584B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411574697.3，技术领域涉及：G01M3/26；该发明授权一种扫描电镜组件检漏工装是由石晓倩;孟祥良;张成龙;刘涛;尹贻恒设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种扫描电镜组件检漏工装在说明书摘要公布了：本发明涉及扫描电镜技术领域，公开了一种扫描电镜组件检漏工装，包括：工装本体内设有真空腔室，在工装本体上设有多个接口；多个接口与真空腔室连通；多个待测扫描电镜组件分别与多个接口连接；检漏仪与真空腔室连通；在启动检漏仪，且气体注入结构向待测扫描电镜组件与接口的连接处注入测试气体时，在检漏仪上显示的漏率值小于漏率设定值时，则判定当前待测扫描电镜组件的漏率合格，否则，判定当前待测扫描电镜组件的漏率不合格。本申请技术方案显著提升检漏效率；有助于提高现场清洁整齐度，简化检漏流程，相比于自动化检漏工装，结构更加简单，操作更加简易，成本更低。

本发明授权一种扫描电镜组件检漏工装在权利要求书中公布了：1.一种扫描电镜组件检漏工装，其特征在于，包括： 工装本体1，内部设有真空腔室2，在所述工装本体1上设有多个接口3；多个接口3与所述真空腔室2连通；多个待测扫描电镜组件分别与多个接口3连接； 检漏仪，通过工装本体1上设有的外接孔4与所述真空腔室2连通； 气体注入结构，适于向多个待测扫描电镜组件与多个接口3的连接处逐一注入测试气体； 所述扫描电镜组件检漏工装适于在启动检漏仪，且气体注入结构向其中的一个当前待测扫描电镜组件与接口3的连接处注入测试气体时，在检漏仪上显示的漏率值小于漏率设定值时，则判定当前待测扫描电镜组件的漏率合格，否则，判定当前待测扫描电镜组件的漏率不合格； 所述待测扫描电镜组件包括：扫描线圈、高位探测器的束闸和活动光阑6； 所述待测扫描电镜组件还包括：隔断阀7；所述隔断阀7的一端与接口3连接；所述隔断阀7贯穿真空腔室2的另一端设有通气孔8，所述通气孔8与工装本体1上设有的测漏孔9连通；所述测漏孔9适于与外部连通；所述扫描电镜组件检漏工装具有向所述隔断阀7的通气孔8注入测试气体的第一检漏状态；以及具有在测漏孔9上安装第一盲板10，以封闭通气孔8的第二检漏状态； 所述测试气体为氦气； 在所述工装本体1上还设有与所述真空腔室2连通的备用接口11；所述备用接口11具有连接多余的待测扫描电镜组件的第一状态，具有通过第二盲板12封闭备用接口11的第二状态；以及具有连接清洗仪，并通过第三盲板将所述外接孔4和所有接口3均封闭，且利用等离子体清洗仪清洗置入真空腔室2内的待测扫描电镜组件的第三状态； 所述清洗仪为等离子体清洗仪。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京中科科仪股份有限公司，其通讯地址为：100190 北京市海淀区中关村北二条13号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。