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龙图腾网获悉浙江大学绍兴研究院申请的专利一种原子层沉积设备的进气组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119465089B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411428161.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种原子层沉积设备的进气组件是由叶雷江;张素梅;孔德君设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种原子层沉积设备的进气组件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种原子层沉积设备的进气组件，包括装载篮主体、上封板和进气底板，装载篮主体的侧壁内设有气室，装载篮主体上设有主柱，上封板固定在装载篮主体的上端面，进气底板固定在装载篮主体的下端面，主柱将气室分为左右两侧，进气底板上开设有进气孔，进气孔纵向贯穿进气底板，主柱内设有竖直方向的匀气腔，匀气腔与进气孔的上端相抵，主柱上设有若干匀气孔，匀气孔的一端与匀气腔相通，匀气孔将匀气腔内的气体均匀送至气室和装载篮主主体内部的装载腔内，本发明结构合理，主柱将气体分散至左右两个气室以及装载腔内，左右两个气室对气体进行引导，使得气体从装载腔的两侧吹入，从而使得装载腔内的气体进气均匀。

本发明授权一种原子层沉积设备的进气组件在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备的进气组件，包括装载篮主体1、上封板2和进气底板3，其特征在于，所述装载篮主体1的侧壁内设有气室63，所述装载篮主体1上设有主柱5，所述上封板2固定在装载篮主体1的上端面，且将气室63的上端面密封，所述进气底板3固定在装载篮主体1的下端面，且将气室63的下端面密封，所述主柱5固定在气室63的中间，且将气室63分为左右两侧，所述进气底板3上开设有进气孔31，所述进气孔31纵向贯穿进气底板3，所述主柱5内设有竖直方向的匀气腔51，所述匀气腔51的下端贯穿主柱5的下端，且与进气孔31的上端相抵，所述主柱5上设有若干匀气孔，所述匀气孔的一端与匀气腔51相通，所述匀气孔将匀气腔51内的气体均匀送至气室63和装载篮主体内部的装载腔11内； 所述匀气孔包括若干前匀气孔52和若干侧匀气孔53，若干所述前匀气孔52在竖直方向上沿着主柱5的前侧面设置，若干所述侧匀气孔53分别设置在主柱5的左右两侧，且均沿着竖直方向分布，所述前匀气孔52与装载腔11相通，位于两侧的所述侧匀气孔53分别与左右两侧的气室63相通，所述气室63的内壁81上开设有匀气槽64，所述匀气槽64连通气室63与装载腔11。

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