买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉季华实验室申请的专利远程等离子体源的起辉方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119485887B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411661740.X，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权远程等离子体源的起辉方法、装置、设备及存储介质是由王凤双;侯少毅;肖慧;郭晓东;胡强设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本远程等离子体源的起辉方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及远程等离子体源的起辉方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取真空计反馈的实时压力值，当满足预设的真空条件时，控制远程等离子体源开始工作，并控制蝶阀以预设的初始开度开启；获取质谱仪反馈的实时扫描参数，基于实时扫描参数确认实时离化率；根据实时离化率调整蝶阀的开度，以调整进入工艺系统的气体流量，直至起辉成功；本申请公开的起辉方法，可根据实时离化率实时调整蝶阀的开度，以实时调整进入气源的进气量，为等离子体的生成创造理想的环境，且保证了气体流量的精确控制，从而提高了起辉的成功率和效率，整个过程无需人工干预，大大减少了操作复杂性，提升了工艺的稳定性和可靠性。

本发明授权远程等离子体源的起辉方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子体源的起辉方法，其特征在于，远程等离子体源包括质谱仪，工艺系统包括真空计和蝶阀；所述起辉方法包括： 获取真空计反馈的实时压力值，当满足预设的真空条件时，控制远程等离子体源开始工作，并控制蝶阀以预设的初始开度开启； 获取质谱仪反馈的实时扫描参数，基于实时扫描参数确认实时离化率； 根据实时离化率调整蝶阀的开度，以调整进入工艺系统的气体流量，直至起辉成功； 所述根据实时离化率调整蝶阀的开度，以调整进入工艺系统的气体流量，包括： 获取预设的目标离化率，并计算实时离化率与预设的目标离化率之间的差值； 将所述差值以及所述实时压力值输入至模糊逻辑控制器中，以获取气体流量调整量； 获取蝶阀的特性曲线，基于所获取的特性曲线以及所述气体流量调整量确认开合角度调整值； 根据所述开合角度调整值调整蝶阀的开度，以调整进入工艺系统的气体流量； 其中，所述获取蝶阀的特性曲线，基于所获取的特性曲线以及所述气体流量调整量确认开合角度调整值，包括： 获取蝶阀的特性曲线，基于所述气体流量调整量，采用线性插值法在特性曲线中查找新的流量系数； 获取基于伯努利方程和蝶阀流量系数预构建的开合角度确认模型，将新的流量系数输入至所述开合角度确认模型中，得到开合角度调整值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。