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北京理工大学姜澜获国家专利权

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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利一种局部极化增强的非线性电离纳米刻写系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119634994B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510050137.6,技术领域涉及:B23K26/36;该发明授权一种局部极化增强的非线性电离纳米刻写系统及方法是由姜澜;陈博;李欣;鲁意博;李孝锐;王猛猛设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种局部极化增强的非线性电离纳米刻写系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种局部极化增强的非线性电离纳米刻写系统及方法,属于飞秒激光加工技术领域。本发明涉及的纳米刻写方法具有大面积加工的能力,通过“飞行打点”方式,能够在材料上加工大面积的纳米孔阵列,通过控制高精度位移台速度和飞秒激光脉冲重复频率,能够控制纳米孔阵列中相邻点之间的距离;通过控制脉冲能量大小,可以控制纳米孔的尺寸大小;通过控制脉冲能量大小以及高精度位移台速度,可以控制纳米线的特征线宽;通过设计图案并导入高精度位移台,可实现纳米线的图案化加工。

本发明授权一种局部极化增强的非线性电离纳米刻写系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种局部极化增强的非线性电离纳米刻写系统,其特征在于: 该刻写系统包括钛蓝宝石飞秒激光器、能量控制模块、径向偏振转换器、倍频模块、锥透镜、第一二向色镜、平凸透镜、环形相位滤波器、聚焦物镜、培养皿、高精度位移台、第二二向色镜、照明光源、CCD成像单元; 所述钛蓝宝石飞秒激光器用于发射飞秒激光至能量控制模块,飞秒激光为水平线偏振的飞秒激光,空间上的光强呈高斯分布,波长为800nm; 所述能量控制模块用于对飞秒激光进行脉冲能量调整,并将进行脉冲能量调整后的飞秒激光传至径向偏振转换器; 所述径向偏振转换器用于接收脉冲能量调整后的飞秒激光,并将接收到的飞秒激光转换为径向偏振的飞秒激光后传至倍频模块; 所述倍频模块用于接收径向偏振的飞秒激光,并将接收到的径向偏振的飞秒激光转换为400nm波长的倍频光后传至锥透镜; 所述锥透镜用于接收400nm波长的倍频光,并将接收到的400nm波长的倍频光在空间上整形成初级贝塞尔-高斯光束后依次传至第一二向色镜进行反射、平凸透镜进行透射、环形相位滤波器进行滤波、聚焦物镜进行聚焦后得到聚焦光束,聚焦光束对固定在培养皿中的石英样品进行辐照,在浸油环境中对石英样品进行纳米刻写操作; 照明光源发出的照明光依次通过第二二向色镜、第一二向色镜、平凸透镜、环形相位滤波器、聚焦物镜后照射到石英样品上,经石英样品表面反射后沿原路返回并通过第二二向色镜反射到CCD成像单元中,对整个加工过程进行动态监测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京理工大学,其通讯地址为:100081 北京市海淀区中关村南大街5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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