杭州长川科技股份有限公司戴啟辉获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利取料控制方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119706347B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411944920.9,技术领域涉及:B65G47/91;该发明授权取料控制方法、装置、设备及存储介质是由戴啟辉;苏崇;张瀚元;陈启其设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本取料控制方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本公开实施例公开了一种取料控制方法、装置、设备及存储介质,通过获取扫描光纤扫描料盒得到的光纤信号,料盒中放置有至少一层晶圆,扫描光纤与机械手安装于同一运动电机上,运动电机用于驱动扫描光纤和机械手移动;基于光纤信号,确定扫描光纤扫描目标料层中晶圆下表面时的第一电机位置,以及确定扫描光纤扫描目标料层的下一层中晶圆上表面时的第二电机位置;基于第一电机位置与第二电机位置,确定机械手从目标料层或目标料层的下一层安全取出晶圆时运动电机的安全位置范围;基于安全位置范围,控制机械手从目标料层或目标料层的下一层中取料,可降低机械手在伸入料盒的过程中,触碰晶圆造成晶圆碎片的风险,提高取料安全性。
本发明授权取料控制方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种取料控制方法,其特征在于,所述方法包括: 获取扫描光纤扫描料盒得到的光纤信号,所述料盒中放置有至少一层晶圆,所述扫描光纤与机械手安装于同一运动电机上,所述运动电机用于驱动所述扫描光纤和所述机械手移动; 基于所述光纤信号,确定所述扫描光纤扫描目标料层中晶圆下表面时的第一电机位置,以及确定所述扫描光纤扫描所述目标料层的下一层中晶圆上表面时的第二电机位置; 基于所述第一电机位置与所述第二电机位置,确定所述机械手从所述目标料层或所述目标料层的下一层安全取出晶圆时所述运动电机的安全位置范围; 基于所述安全位置范围,控制所述机械手吸附所述目标料层的下一层中晶圆上表面或者所述目标料层中晶圆下表面,移出所述料盒; 其中,所述机械手安装位置高于所述扫描光纤的安装位置;所述基于所述第一电机位置与所述第二电机位置,确定所述机械手从所述目标料层或目标料层的下一层安全取出晶圆时所述运动电机的安全位置范围,包括: 获取所述机械手与所述扫描光纤之间的间隔距离; 基于所述第一电机位置与所述间隔距离之间的差值,确定安全范围上限,所述安全范围上限是所述安全位置范围的最大值; 基于所述第二电机位置与所述间隔距离之间的差值,确定安全范围下限,所述安全范围下限是所述安全位置范围的最小值。
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