深圳市矩阵多元科技有限公司龚文志获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种真空面板传片机构及传片方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119725215B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411930536.3,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种真空面板传片机构及传片方法是由龚文志;邵寿潜;张晓军;李永杰;张亮;黄承语设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空面板传片机构及传片方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种真空面板传片机构及传片方法,属于半导体生产技术领域,真空面板传片机构包括:支撑部;拨叉组件,设置于所述支撑部,所述拨叉组件设置第一连接部;平移驱动组件,用于驱动所述拨叉组件沿第一方向移动,所述平移驱动组件设置第二连接部;所述第一连接部和所述第二连接部被配置为沿所述第一方向卡接、沿竖直方向滑动配合的结构。本申请中的真空面板传片机构,拨叉组件安装在支撑部上,能够利用支撑部来提高支撑强度,从而满足面板尺寸较大、重量较大的应用情况,并且结合第一连接部、第二连接部的配合,拨叉组件的升降和平移互不干涉,因此能够有效解决传统结构的不足,满足尺寸较大、重量较大的面板的传片需要。
本发明授权一种真空面板传片机构及传片方法在权利要求书中公布了:1.一种真空面板传片机构,其特征在于,包括: 支撑部,所述支撑部升降设置; 拨叉组件,所述拨叉组件能够沿第一方向移动地设置于所述支撑部的上端,所述拨叉组件设置第一连接部; 平移驱动组件,所述平移驱动组件连接于所述拨叉组件,用于驱动所述拨叉组件沿所述第一方向移动,所述平移驱动组件设置第二连接部; 其中,所述第一连接部和所述第二连接部被配置为沿所述第一方向卡接、沿竖直方向滑动配合的结构,使得在所述支撑部升降调节的情况下,所述拨叉组件相对于所述平移驱动组件上下滑动; 所述第一连接部和所述第二连接部中的至少一者设置卡块,所述卡块沿竖直方向延伸,另一者至少沿所述第一方向于所述卡块的两侧转动设置滚轮,所述滚轮抵接于所述卡块; 所述真空面板传片机构还包括升降驱动组件,所述升降驱动组件包括: 升降驱动丝杆,所述升降驱动丝杆竖直设置; 升降导向部,所述升降导向部竖直设置、并至少分布于所述支撑部相对的两侧; 升降驱动部,所述升降驱动部传动连接于所述升降驱动丝杆,用于驱动所述升降驱动丝杆转动; 所述支撑部穿设于所述升降驱动丝杆和所述升降导向部上,并且螺纹连接于所述升降驱动丝杆。
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